2008 年度研究成果報告書

ナノ領域ひずみ測定用多機能近接場ラマン分光装置の開発によるバイオ圧電材の機能評価

研究課題

研究課題/領域番号	19760078
研究種目	若手研究(B)
配分区分	補助金
研究分野	機械材料・材料力学
研究機関	名城大学
研究代表者	來海博央名城大学, 理工学部, 准教授 (30324453)
研究期間 (年度)	2007 – 2008
キーワード	ナノ空間分解能 / ひずみ測定 / 近接場ラマン散乱光 / トポロジー / その場観察
研究概要	本研究では、多機能近接場ラマン分光ひずみ評価装置の開発を行った。特に、微小開口プローブと金属チッププローブで近接場の発生条件を検討し、近接場光の発生、表面形状、表面電位と成分分析の同時測定が可能なSNOMヘッドとシステムを確立した。現状、スペクトル強度が弱いためひずみ評価は困難であるが、シリコンでのチップ増強等、レーザー波長を変える事で十分な強度が得られる可能性があり、今後更なる発展が期待できる。