大型非球面金型の機上超精密形状計測法の開発

2008 年度 研究成果報告書

• 研究課題/領域番号: 19760092
• 研究種目: 若手研究(B)
• 配分区分: 補助金
• 研究分野: 生産工学・加工学
• 研究機関: 中部大学
• 研究代表者: 曹 国輝 中部大学, 先進計測研究センター, 研究員 (80424927)
• 研究期間 (年度): 2007 – 2008
• キーワード: 超精密加工

研究概要

大型非球面金型(直径300mm及び500mm、ミラー面の長さ400mmの放物面と双曲面からなる)を超精密ダイヤモンド切削し、その形状を機上の変位センサーで測定し、補正加工した。その結果、形状精度±92nmを得た。円筒の場合、形状精度±54nmを得た。上記の形状計測実験を通じて、機上超精密非球面形状計測法を開発した。

研究成果

• [雑誌論文] Straightness Error Compensation for Ultra-Precision Machining Based on a Straightness Gauge (2005)
  • 著者名/発表者名: Guohui Cao, Yoshiharu Namba
  • 雑誌名: Key Engineering Materials Vol.381-382 ページ: 105-10
  • 査読あり
• [学会発表] 非球面光学素子の形状計測 (2009)
  • 著者名/発表者名: 曹国輝,難波義治
  • 学会等名: 2008秋季第69回応用物理学会学術講演会
  • 発表場所: 中部大学,春日井市,日本
  • 年月日: 2009-09-04
• [学会発表] Precision Shape Measurement of Large Aspheric Optics Based on Error Compensation (2008)
  • 著者名/発表者名: Guohui Cao, Yoshiharu Namba
  • 学会等名: The 6th CHINA-JAPAN International Conference on Ultra-Precision Machining (CJICUPM2008)
  • 発表場所: Hunan Univ., China
  • 年月日: 2008-11-24
• [学会発表] 誤差補正による非球面光学素子の超精密形状計測 (2008)
  • 著者名/発表者名: 曹国輝,難波義治
  • 学会等名: 日本機械学会第7回生産加工・工作機械部門講演会
  • 発表場所: 長良川国際会議場,岐阜,日本
  • 年月日: 2008-11-21
• [学会発表] Straightness Error Compensation for Ultra-Precision Machining Based on a Straightness Gauge (2007)
  • 著者名/発表者名: Guohui Cao, Yoshiharu Namba
  • 学会等名: 8th International Symposium on Measurement Technology and Intelligent Instruments
  • 発表場所: Tohoku Univ., Sendai, Japan
  • 年月日: 2007-09-25