V溝加工光ファイバプローブを用いた微小深穴内径測定器の開発

2009 年度 研究成果報告書

• 研究課題/領域番号: 19760096
• 研究種目: 若手研究(B)
• 配分区分: 補助金
• 研究分野: 生産工学・加工学
• 研究機関: 鹿児島大学 (2008-2009); 福岡県工業技術センター (2007)
• 研究代表者: 村上 洋 鹿児島大学, 大学院・理工学研究科(工学系), 助教 (00416512)
• 研究期間 (年度): 2007 – 2009
• キーワード: 微小径穴 / 深穴 / 測定 / 光ファイバプローブ / レーザ

研究概要

微細径の光ファイバプローブを用いた低測定力で高精度な微小径穴形状精度測定システムの開発を目的とする.プローブが穴内壁に接触した際のプローブのたわみを光学的手法により検出する.本研究では,基礎実験を行い本装置の測定精度を検証し,また直径100μmの微小径穴を測定することで本装置の有用性を確認した.

研究成果

• [雑誌論文] 光ファイバプローブを用いた微小径穴の形状精度測定技術 (2010)
  • 著者名/発表者名: 村上洋, 甲木昭雄, 鬼鞍宏猷, 佐島隆 生, 皮籠石紀雄, 近藤英二
  • 雑誌名: 光アライアンス 21(2) ページ: 55-58
• [雑誌論文] 光ファイバプローブを用いた微小径穴形状精度測定システムの開発(第1報)-光学的解析および精度評価- (2009)
  • 著者名/発表者名: 村上洋, 甲木昭雄, 鬼鞍宏猷, 佐島隆 生, 近藤英二
  • 雑誌名: 精密工学会誌 75(12) ページ: 1476-1481
  • 査読あり
• [学会発表] Development of a Measuring System for Micro Hole Accuracy Using an Optical Fiber Probe -Evaluation of Measurement Repeatability- (2009)
  • 著者名/発表者名: Hiroshi MURAKAMI, Akio KATSUKI, Hiromichi ONIKURA, Takao SAJIMA, Norio KAWAGOISHI, Eiji KONDO, Tomohiro HONDA
  • 学会等名: 5th International Conference on Leading Edge Manufacturing in 21st Century(LEM21)
  • 発表場所: 大阪大学
  • 年月日: 2009-12-03
• [学会発表] 光ファイバプローブを用いた微小径穴形状精度測定システムの開発-測定の繰り返し性評価- (2009)
  • 著者名/発表者名: 村上洋, 甲木昭雄, 鬼鞍宏猷, 佐島隆 生, 近藤英二
  • 学会等名: 2009年度精密工学会秋季大会学術講演会
  • 発表場所: 神戸大学
  • 年月日: 2009-09-11
• [産業財産権] 形状測定装置および測定方法 (2007)
  • 発明者名: 村上洋, 林宏光
  • 権利者名: 村上洋, 林宏光
  • 産業財産権番号: 特許特願2007-269005
  • 出願年月日: 2007-10-16