単一マスク傾斜UV露光法を用いた三次元複雑構造の作製とマイクロミキサへの応用

2008 年度 研究成果報告書

• 研究課題/領域番号: 19760172
• 研究種目: 若手研究(B)
• 配分区分: 補助金
• 研究分野: 知能機械学・機械システム
• 研究機関: 香川大学 (2008); 京都大学 (2007)
• 研究代表者: 鈴木 孝明 香川大学, 工学部, 准教授 (10378797)
• 研究期間 (年度): 2007 – 2008
• キーワード: マイクロ流体システム / microTAS / フォトリソグラフィ / マイクロミキサ

研究概要

本研究では、単一のマスクパターンからアライメントレスで複雑な3次元構造を作製するフォトリソグラフィ法を提案するとともに、提案するプロセスの具体的な応用例として3次元多層流を用いた高速マイクロミキサの試作・評価を行った。提案するフォトリソグラフィ技術は、遮光用のメタル層がパターニングされたガラス基板に紫外線硬化性樹脂を直接塗布し、裏面から紫外線を傾斜露光することによって、単一のマスクパターンから3次元的な構造を作製することができる。

研究成果

• [雑誌論文] 積層型圧電アクチュエータを用いた進行波型マイクロポンプによる流体輸送制御 (2009)
  • 著者名/発表者名: 鈴木孝明,秦秀敏,神野伊策,小寺秀俊
  • 雑誌名: 日本AEM学会誌 17 ページ: 253-258
  • 査読あり
• [雑誌論文] バルブレスマイクロポンプによる流体輸送 (2008)
  • 著者名/発表者名: 鈴木孝明
  • 雑誌名: 油空圧技術 47 ページ: 69-74
• [雑誌論文] Modal Analysis for Externally Driven Micropump and Additional Mass Effect of Water (2008)
  • 著者名/発表者名: K. Kanda, S. Ishikawa, J. Ogawa, T. Suzuki, I. Kanno, and H. Kotera
  • 雑誌名: Japanese Journal of Applied Physics 47 ページ: 5226-5230
  • 査読あり
• [雑誌論文] a low-damage cell trapping array fabricated by single-mask multidirectional photolithography with equivalent circuit analysis (2007)
  • 著者名/発表者名: T. Suzuki, H. Yamamoto, M. Ohoka, I. Kanno, M. Washizu, and H. Kotera
  • 雑誌名: Proceedings of the 11th International Conference on Miniaturized Systems for Chemistry and Life Sciences (MicroTAS2007) 2 ページ: 1765-1767
• [学会発表] Single-Mask Multidirectional Photolithography with Multiple Resist Coat for Multi-Layered Microfluidic Networks (2009)
  • 著者名/発表者名: T. Suzuki, Y. Hirabayashi, K. Terao, I. Kanno, M. Washizu, and H. Kotera
  • 学会等名: International Conference on Microtechnologies in Medicine and Biology
  • 発表場所: Quebec, CANADA
  • 年月日: 20090401-03
• [学会発表] Single-Mask傾斜リソグラフィによる3次元マイクロミキサの作製 (2008)
  • 著者名/発表者名: 萩尾吉則、鈴木孝明、神野伊策、小寺秀俊
  • 学会等名: 第18回化学とマイクロ・ナノシステム研究会
  • 発表場所: 京都大学(京都市)
  • 年月日: 20081208-09
• [学会発表] 積層型圧電アクチュエータを用いた進行波型マイクロポンプによる流体輸送制御 (2008)
  • 著者名/発表者名: 鈴木孝明、秦秀敏、神野伊策、小寺秀俊
  • 学会等名: 第17回MAGDAコンファレンスin日立
  • 発表場所: 日立シビックセンター(茨城県日立市)
  • 年月日: 20081120-21
• [学会発表] 2層構造を有する細胞固定デバイスの開発 (2008)
  • 著者名/発表者名: 鈴木孝明、平林恭稔、神野伊策、小寺秀俊
  • 学会等名: 第25回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム
  • 発表場所: 沖縄コンベンションセンター(沖縄県宜野湾市)
  • 年月日: 20081022-24
• [学会発表] Assembly-free microfabrication process for multi-layered microfluidic networks using single-mask multidirectional photolithography (2008)
  • 著者名/発表者名: T. Suzuki, Y. Hirabayashi, I. Kanno, M. Washizu and H. Kotera
  • 学会等名: The 12th International Conference on Miniaturized Systems for Chemistry and Life Sciences (MicroTAS2008)
  • 発表場所: San Diego, USA
  • 年月日: 20081012-16
• [学会発表] Novel Micromixer Utilizing Frequency Mode Modulation on Meta-Structure (2008)
  • 著者名/発表者名: K. Kanda, Y. Noda, T. Suzuki, I. Kanno and H. Kotera
  • 学会等名: The 12th International Conference on Miniaturized Systems for Chemistry and Life Sciences (MicroTAS2008)
  • 発表場所: San Diego, USA
  • 年月日: 20081012-16
• [学会発表] 質量分布型マイクロミキサー (2008)
  • 著者名/発表者名: 神田健介、鈴木孝明、神野伊策、小寺秀俊
  • 学会等名: 日本機械学会2008年度年次大会
  • 発表場所: 横浜国立大学(神奈川県横浜市)
  • 年月日: 20080803-07
• [学会発表] Single-Mask回転傾斜リソグラフィを用いた細胞固定アレイの設計 (2007)
  • 著者名/発表者名: 鈴木孝明、山本英郎、大岡正孝、神野伊策、鷲津正夫、小寺秀俊
  • 学会等名: 第24回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム
  • 発表場所: タワーホール船堀(東京都江戸川区)
  • 年月日: 20071016-17
• [学会発表] 細胞固定チップのオリフィス構造上で培養される細胞の評価 (2007)
  • 著者名/発表者名: 志牟田耕平、鈴木孝明、小此木孝仁、神野伊策、小寺秀俊
  • 学会等名: 2007年度年次大会
  • 発表場所: 関西大学千里山キャンパス(吹田市)
  • 年月日: 20070909-12
• [学会発表] High throughput cell electroporation array fabricated by single-mask inclined UV lithography exposure and oxygen plasma etching (2007)
  • 著者名/発表者名: T. Suzuki, H. Yamamoto, M. Ohoka, A. Okonogi, H. Kabata, I. Kanno, M. Washizu, and H. Kotera
  • 学会等名: The 14th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems
  • 発表場所: Lyon, France
  • 年月日: 2007-06-10
• [備考]
  • URL: http://www.eng.kagawa-u.ac.jp/~suzuki/
• [産業財産権] 回転傾斜露光法を用いた流路形成 (2007)
  • 発明者名: 鈴木孝明、小寺秀俊、神野伊策
  • 権利者名: 京都大学
  • 産業財産権番号: 特願2007-261628
  • 出願年月日: 2007-10-05