ナノプローブによるTOF-ERDA軽元素分析技術の開発

2008 年度 研究成果報告書

• 研究課題/領域番号: 19760217
• 研究種目: 若手研究(B)
• 配分区分: 補助金
• 研究分野: 電子・電気材料工学
• 研究機関: 大阪大学
• 研究代表者: 阿保 智 大阪大学, 極限量子科学研究センター, 助教 (60379310)
• 研究期間 (年度): 2007 – 2008
• キーワード: 組成分析 / 飛行時間計測 / 弾性反跳粒子検出法 / Time-of-Flight(TOF) / Elastic Recoil Detection Analysis(ERDA)

研究概要

150keV集束イオンビームと大口径の検出器を組み合わせた弾性反跳粒子飛行時間計測系の構築を行った。Si基板へのB注入試料の計測を行い、それぞれの元素の検出に成功した。この計測結果より、Bの深さ分布への変換を試みたが、本研究で用いた計測系では二次電子飛行距離の違いによる時間分解能の悪化が発生しBの濃度分布への変換は難しかった。