超臨界流体を反応場とした結晶質酸化物薄膜の低温成膜

2008 年度 研究成果報告書

• 研究課題/領域番号: 19760222
• 研究種目: 若手研究(B)
• 配分区分: 補助金
• 研究分野: 電子・電気材料工学
• 研究機関: 上智大学
• 研究代表者: 内田 寛 上智大学, 理工学部, 助教 (60327880)
• 研究期間 (年度): 2007 – 2008
• キーワード: 超臨界流体 / 薄膜 / 酸化物 / 二酸化炭素 / 半導体デバイス / シリコンウェハー / 有機金属化合物

研究概要

超臨界流体応用の技術を利用し、従来の手法よりも低温での無機材料薄膜合成プロセスの構築を検討した。超臨界二酸化炭素(CO2)流体中においてSi ウェハ、Pt, Cu, Al、SUS、ナイロン系高分子等の基板物質は約200℃程度まで変質せず安定に存在した。一方、有機金属化合物Ti(O・i-C3H7)2(C11H19O2)2等のβ-ジケトン錯体は約100℃付近から分解を開始し、薄膜状の結晶質酸化チタンTiO2(anatase)堆積物を形成した。

研究成果

• [雑誌論文] Low-TemperatureProcessing of Sol-Gel Derived Metal OxideThin Films using Supercritical Carbon Dioxide Fluid
  • 著者名/発表者名: Hiroshi UCHIDA, Kaori FUJIOKA andSeiichiro KODA
  • 雑誌名: Meter. Res. Soc. Proc 1113E(in press)
  • 査読あり
• [学会発表] Low-Temperature Processing of Sol-Gel Derived Metal Oxide Thin Films using Supercritical Carbon Dioxide Fluid (2008)
  • 著者名/発表者名: Hiroshi UCHIDA, Kaori FUJIOKA and Seiichiro KODA
  • 学会等名: MRS Fall Meeting 2008
  • 発表場所: Boson, MA, USA
  • 年月日: 20081101-05
• [学会発表] 超臨界二酸化炭素流体中における有機金属化合物の分解および酸化物薄膜の堆積 (2007)
  • 著者名/発表者名: 内田寛、加納富由樹、助川太一、由井和子、幸田清一郎
  • 学会等名: 日本セラミックス協会第20回秋季シンポジウム
  • 発表場所: 名古屋工業大学
  • 年月日: 2007-09-12
• [備考]
  • URL: http://pweb.cc.sophia.ac.jp/h-uchida/