酸化亜鉛ショットキー接合の界面挙動と水素応答に関する研究

2008 年度 研究成果報告書

• 研究課題/領域番号: 19760224
• 研究種目: 若手研究(B)
• 配分区分: 補助金
• 研究分野: 電子・電気材料工学
• 研究機関: 独立行政法人物質・材料研究機構
• 研究代表者: 長田 貴弘 独立行政法人物質・材料研究機構, 半導体材料センター, 研究員 (10421439)
• 研究協力者: 知京 豊裕 独立行政法人物質・材料研究機構, 半導体材料センター, センター長 (10354333)
• 研究期間 (年度): 2007 – 2008
• キーワード: 電気・電子材料(半導体、誘電体、磁性体、超誘電体、有機物、絶縁体、超伝導体など) / ワイドバンドギャップ半導体

研究概要

酸化亜鉛(ZnO)などのワイドバンドギャップ半導体は、これまで光学応用が主であったが、近年、電子デバイス用の材料としても注目されており、電気特性制御、電極材料の最適化は重要な技術である。そこでZnOのショットキーダイオードを作成し、金属/酸化物界面における界面構造の変化と電気特性への影響を明らかにし、紫外光応答と共に、水素への応答を確認した。

研究成果

• [雑誌論文] Interface structure and the chemical states of Pt film on polar-ZnO single crystal to be published in Applied Physics Letter (2009)
  • 著者名/発表者名: T. Nagata, J. Volk, M. Haemori, Y. Yamashita, H. Yoshikawa, S. Ueda, K. Kobayashi, R. Hayakawa, M. Yoshitake, and T. Chikyow
  • 査読あり
• [雑誌論文] Capability of focused Ar ion beam sputtering method for combinatorial synthesis of metal films (2009)
  • 著者名/発表者名: T. Nagata, M. Haemori, and T. Chikyow
  • 雑誌名: Journal of Vacuum Science and Technology A Vol.27 ページ: 492-495
  • 査読あり
• [雑誌論文] Crystal Structures of Pt-Ru Alloys Schottky Contacts on ZnO by Combinatorial Ion Beam Deposition Method (2009)
  • 著者名/発表者名: T. Nagata, P. Ahmet, and T. Chikyow
  • 雑誌名: Japanese Journal of Applied Physics Vol.46 ページ: 2907-2909
  • 査読あり
• [学会発表] Interface structure and chemical states of metal contact on oxide materials (2009)
  • 著者名/発表者名: T. Nagata 他
  • 学会等名: The Fifth Internation Nanotechnology Conference on Communications and Cooperation
  • 発表場所: Los Angels (UCLA), USA
  • 年月日: 2009-05-20
• [学会発表] Schottky barrier height control of Pt-based Binary-alloy on ZnO by Combinatorial Method (2008)
  • 著者名/発表者名: T. Nagata 他
  • 学会等名: 50th Annual TMS Electronic Materials Conference, June 26th
  • 発表場所: Santa Barbara (UCSB), USA
  • 年月日: 20080000
• [学会発表] Composition spread metal thin film fabrication by combinatorial sputtering technique (2008)
  • 著者名/発表者名: T. Nagata 他
  • 学会等名: 5th International Conference on Combinatorial and High-Throughput Materials Science
  • 発表場所: Seeon, Germany
  • 年月日: 2008-09-29
• [学会発表] Pt-based Binary-alloy Schottky Metal Library Fabrication for ZnO by Combinatorial Method (2007)
  • 著者名/発表者名: T. Nagata 他
  • 学会等名: 2007 Materials Research Society (MRS) Fall Meeting
  • 発表場所: Boston USA
  • 年月日: 2007-11-29
• [学会発表] コンビナトリアル手法によるZnO上のPt系合金Schottky電極の作成 (2007)
  • 著者名/発表者名: 長田貴弘 他
  • 学会等名: 第68回秋季応用物理学会学術講演
  • 発表場所: 北海道工業大学,札幌市
  • 年月日: 2007-09-06