超高密度磁気記録用パターン媒体作製の基盤技術に関する開発

2008 年度 研究成果報告書

• 研究課題/領域番号: 19760243
• 研究種目: 若手研究(B)
• 配分区分: 補助金
• 研究分野: 電子デバイス・電子機器
• 研究機関: 秋田県産業技術総合研究センター
• 研究代表者: 近藤 祐治 秋田県産業技術総合研究センター, 高度技術研究所, 研究員 (70390903)
• 研究協力者: 千葉 隆 秋田県産業技術総合研究センター, 高度技術研究所, 主任研究員 (70370236)
• 研究期間 (年度): 2007 – 2008
• キーワード: 磁気記録媒体 / パターン媒体 / 低エネルギーイオンエッチング / 顕微磁気円二色性 / 静磁気相互作用 / ドット間交換結合

研究概要

次世代の磁気記録装置として期待されているナノメーターサイズの磁性ドットを周期的に配列したパターン媒体作製の基盤技術を構築することを目指した.電子線露光と低エネルギーイオンによるエッチングを用いることによって,世界で初めて良好な磁気特性を有する1Tbit/in2相当の磁性ドット規則配列パターンを作製することができた.また,1Tbit/in2以上の記録密度を実現するためのパターン媒体設計指針として,ドット間を磁気的に繋げることによって,熱安定性に優れ,かつ記録しやすい媒体を実現できることを示した.

研究成果

• [雑誌論文] Element - specific hard X-ray micro-magnetometry of magnetic modifications in Co-Pt dots fabricated by ion etching (2008)
  • 著者名/発表者名: Y. Kondo, T. Chiba, J. Ariake, K. Taguchi, M. Suzuki, M. Takagaki, N. Kawamura, B. M. Zulfakri, S. Hosaka, N. Honda
  • 雑誌名: J. Magn. Magn. Mater 320 ページ: 3157-3160
  • 査読あり
• [雑誌論文] "Fabrication of Co-Pt Array with 1 Tbit/in2 for Bit Patterned Media" (2008)
  • 著者名/発表者名: Y. Kondo, T. Chiba, J. Ariake, K. Taguchi, M. Suzuki, N. Kawamura, B. M. Zulfakri, S. Hosaka, T. Hasegawa, S. Ishio, N. Honda
  • 雑誌名: IEICE Tech. Rep MR2008-19 ページ: 1-6
• [雑誌論文] Micro-XMCD of CoPt Dots Prepared by Using Ga Ions (2007)
  • 著者名/発表者名: Y. Kondo, T. Chiba, J. Ariake, M. Suzuki, M. Takagaki, N. Kawamura, N. Honda
  • 雑誌名: IEICE Tech. Rep MR2007-1 ページ: 1-5
• [学会発表] Exchange coupled magnetic dot arrays for next generation bit patterned media (2009)
  • 著者名/発表者名: Y. Kondo, J. Ariake, T. Chiba, K. Taguchi, M. Suzuki, N. Kawamura, N. Honda
  • 学会等名: IEEE International Magnetics Conference (Intermag 2009)
  • 発表場所: Sacramento
  • 年月日: 2009-05-06
• [学会発表] Fabrication and process issues of bit patterned media for 1 Tbit/in2 regime (2009)
  • 著者名/発表者名: J. Ariake, Y. Kondo, T. Hasegawa, S. Ishio, N. Honda
  • 学会等名: IEEE International Magnetics Conference (Intermag 2009)
  • 発表場所: Sacramento
  • 年月日: 2009-05-06
• [学会発表] ビットパターン媒体用1Tbit/in2級Co-Ptドットアレイの作製と磁気特性評価 (2009)
  • 著者名/発表者名: 近藤祐治, 有明順, 千葉隆, 田口香, 鈴木基寛, 河村直己, 長谷川崇, 石尾俊二, 本多直樹
  • 学会等名: 2009年春季第56回応用物理学関係連合講演会
  • 発表場所: つくば市
  • 年月日: 2009-03-30
• [学会発表] 「ビットパターン媒体用1Tbit/in2級Co-Ptドットアレイの作製」 (2008)
  • 著者名/発表者名: 近藤祐治, 千葉隆, 有明順, 田口香, 鈴木基寛, 河村直己, B. M. Zulfakri, 保坂純男,長谷川崇, 石尾俊二, 本多直樹
  • 学会等名: 電子情報通信学会磁気記録・情報ストレージ研究会
  • 発表場所: 秋田市
  • 年月日: 2008-12-19
• [学会発表] 磁気記録媒体の微細加工(依頼講演) (2008)
  • 著者名/発表者名: 近藤祐治
  • 学会等名: 電子情報通信学会東北支部「専門講習会」
  • 発表場所: 秋田市
  • 年月日: 2008-12-19
• [学会発表] 電子線描画とArイオンミリングにより作製したCo-Pt磁性ドットの磁気特性評価 (2008)
  • 著者名/発表者名: 近藤祐治, 千葉隆, B. M. Zulfakri, 有明順,田口香, 鈴木基寛, 河村直己, 保坂純男,本多直樹
  • 学会等名: 2008年春季第55回応用物理学関係連合講演会
  • 発表場所: 船橋市
  • 年月日: 2008-03-27
• [学会発表] 次世代磁気記録用パターン媒体における顕微磁気円二色性を用いた微小磁気測定 (2008)
  • 著者名/発表者名: 近藤祐治, 鈴木基寛, 有明順, 千葉隆, 高垣昌史, 河村直己, 本多直樹
  • 学会等名: 第12回日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム
  • 発表場所: 草津市
  • 年月日: 2008-01-14
• [学会発表] Element - specific hard X-ray micro-magnetometry of magnetic modifications in Co-Pt dots by Ga ion (2007)
  • 著者名/発表者名: Y. Kondo, T. Chiba, J. Ariake, M. Suzuki, M. Takagaki, N. Kawamura, N. Honda
  • 学会等名: The Eighth Perpendicular Magnetic Recording Conference (PMRC2007)
  • 発表場所: Tokyo
  • 年月日: 2007-10-17
• [学会発表] Gaイオンを用いて作製したCoPtドットのmicro-XMCDによる磁気特性評価 (2007)
  • 著者名/発表者名: 近藤祐治, 千葉隆, 有明順, 鈴木基寛, 高垣昌史, 河村直己, 本多直樹
  • 学会等名: 電子情報通信学会磁気記録・情報ストレージ研究会
  • 発表場所: 仙台市
  • 年月日: 2007-06-07