スパッタプロセスにおける多元素同時モニタリング技術

2008 年度 研究成果報告書

• 研究課題/領域番号: 19760508
• 研究種目: 若手研究(B)
• 配分区分: 補助金
• 研究分野: 材料加工・処理
• 研究機関: 和歌山大学
• 研究代表者: 太田 貴之 和歌山大学, システム工学部, 助教 (10379612)
• 研究期間 (年度): 2007 – 2008
• キーワード: プラズマ診断 / スパッタリング / 吸収分光法

研究概要

スパッタプロセスは, 非常に幅広い薄膜プロセスに用いられている. 本研究では, 高機能薄膜を高品質に形成するために, スパッタプラズマ中の数種類の金属原子密度を同時にモニタリングする技術の開発を目的とした. 具体的には, 金属原子密度測定用の吸収分光用光源の開発し, 透明導電膜製膜スパッタプラズマ中のInとZn原子密度の同時モニタリングを行い, 金属原子の絶対密度計測に成功した.

研究成果

• [雑誌論文] Simultaneous monitoring of metallic atom densities in sputtering process using multi-micro hollow cathode lamp (2007)
  • 著者名/発表者名: Ohta, M. Ito, Y. Tachibana, S. Taneda, S. Takashima, M. Hori, H. Kano, S. Den
  • 雑誌名: Appl. Phys. Lett. 90 ページ: 251502-1-25102-3
  • 査読あり
• [学会発表] マイクロホローカソードプラズマを用いた複数金属同時測定用吸収分光光源の開発 (2009)
  • 著者名/発表者名: 太田貴之
  • 学会等名: 電気学会研究フォーラム先端プラズマ技術を利用したナノテクノロジーおよびバイオ分野への応用に関する研究, 第3回 : 大気圧および液体中におけるプラズマ生成と応用, 招待講演
  • 発表場所: 静岡大学
  • 年月日: 2009-01-14
• [学会発表] Simultaneous monitoring of absolute densities of In and Zn atoms in indium zinc oxide sputtering process (2008)
  • 著者名/発表者名: T.Ohta, N. Takota, Y. Tachibana, M. Ito, Y. Higashijima, H. Kano, S. Den, M. Hori
  • 学会等名: The International Union of Materials Research Societies International Conference in Asia 2008(IUMRS-ICA2008), 招待講演
  • 発表場所: Nagoya, Japan
  • 年月日: 20081209-13
• [学会発表] Simultaneous monitoring of absolute densities of multi metallic atoms in magnetron sputtering employing micro hollow cathode lamp (2008)
  • 著者名/発表者名: T. Ohta, Y. Tachibana, N. Takota, M. Ito, S. Takashima, Y. Higashijima, H. Kano, S. Den, M. Hori
  • 学会等名: 11th international conference on plasma surface engineering
  • 発表場所: Garmisch-Partenkirchen, Germany
  • 年月日: 20080915-19
• [学会発表] Effects of cathode dimension on plasma charactristics of multi-micro hollow cathode lamp (2008)
  • 著者名/発表者名: T. Ohta, Y. Tachibana, N. Takota, M. Ito, S. Takashima, Y. Higashijima, H. Kano, S. Den, M. Hori
  • 学会等名: 19th European Conference on Atomic & Molecular Physics of Ionized Gases
  • 発表場所: Granada, Spain
  • 年月日: 20080715-19
• [学会発表] plasma diagnostics on multi-micro hollow light source (2007)
  • 著者名/発表者名: T. Ohta, Y. Tachibana, M. Ito, S. Takashima, Y. Higashijima, H. Kano, S. Den, M. Hori
  • 学会等名: 18th international symposium on plasma chemistry
  • 発表場所: Kyoto, Japan
  • 年月日: 20070826-31
• [学会発表] Development of multi metallic emission array using micro hollow cathode plasma (2007)
  • 著者名/発表者名: T. Ohta, Y. Tachibana, M. Ito, S. Takashima, Y. Higashijima, H. Kano, S. Den, M. Hori
  • 学会等名: XXVIII International Conference on Phenomena in Ionized Gases
  • 発表場所: Prague, Czech Republic
  • 年月日: 20070715-20
• [備考] ホームページ等
  • URL: http://www.sys.wakayama-u.ac.jp/om/photonics/