電子デバイス用基板材料の三次元成形法の開発

2008 年度 研究成果報告書

• 研究課題/領域番号: 19760513
• 研究種目: 若手研究(B)
• 配分区分: 補助金
• 研究分野: 材料加工・処理
• 研究機関: 熊本大学
• 研究代表者: 大津 雅亮 熊本大学, 大学院・自然科学研究科, 准教授 (20304032)
• 研究期間 (年度): 2007 – 2008
• キーワード: レーザ加工 / 基板材料 / マイクロデバイス / 三次元成形

研究概要

通常は強い力を加えると割れてしまうため三次元成形が難しい電子デバイス用の基板材料であるシリコンや次世代の電子デバイスの基板材料として期待されている金属ガラス箔をレーザ照射によって曲げ加工する方法を開発し,そのための装置の作成と成形条件の探査を行った.出力50WのYAGレーザを使い,厚さ0.05mmのシリコン箔と0.017mmの金属ガラス箔の成形条件を求めた.

研究成果

• [雑誌論文] Laser Forming of Thin Film Metallic Glass (2009)
  • 著者名/発表者名: Masaaki Otsu, Yuki Ide, Junpei Sakurai, Seiichi Hata, Kazuki Takashima
  • 雑誌名: Journal of Solid Mechanics and Materials Engineering 3-2 ページ: 387-396
  • 査読あり
• [雑誌論文] Laser Forming of Single Crystalline Silicon Foils (2009)
  • 著者名/発表者名: Jumpei Oka, Masaaki Otsu, Kazuki Takashima
  • 雑誌名: Journal of Solid Mechanics and Materials Engineering 3-4 ページ: 679-690
  • 査読あり
• [学会発表] Bending of Pd-Based Thin Film Metallic Glasses by Laser Forming Process (2008)
  • 著者名/発表者名: 大津雅亮
  • 学会等名: The 2nd International Student Conference on Advanced Science and Technology
  • 発表場所: 北京(中国)
  • 年月日: 2008-12-22
• [学会発表] Bending of Pd-based Thin Film Metallic Glass by Laser Forming (2008)
  • 著者名/発表者名: 大津雅亮
  • 学会等名: Materials Research Society Fall Meeting
  • 発表場所: ボストン(米国)
  • 年月日: 2008-12-01
• [学会発表] Pd基金属ガラス箔のレーザフォーミング (2008)
  • 著者名/発表者名: 大津雅亮
  • 学会等名: 日本塑性加工学会西日本若手技術交流会
  • 発表場所: 名古屋市
  • 年月日: 2008-11-14
• [学会発表] Laser Forming of Thin Film Metallic Glass (2008)
  • 著者名/発表者名: 大津雅亮
  • 学会等名: 3rd JSME/ASME International Conference on Materials and Processing
  • 発表場所: シカゴ(米国)
  • 年月日: 2008-10-07
• [学会発表] Laser Forming of Single Crystalline Silicon (2008)
  • 著者名/発表者名: 大津雅亮
  • 学会等名: 3rd JSME/ASME International Conference on Materials and Processing
  • 発表場所: シカゴ(米国)
  • 年月日: 2008-10-07
• [学会発表] レーザフォーミングを用いたPd基金属ガラス箔の成形 (2008)
  • 著者名/発表者名: 大津雅亮
  • 学会等名: 第143回日本金属学会秋期大会
  • 発表場所: 熊本市
  • 年月日: 2008-09-23
• [学会発表] Bending of Single Crystalline Silicon and Borosilicate Glass Foils by Laser Forming (2008)
  • 著者名/発表者名: 大津雅亮
  • 学会等名: 9th International Conference on Technology of Plasticity
  • 発表場所: 慶州(韓国)
  • 年月日: 2008-09-07
• [学会発表] Pd基金属ガラス箔のレーザフォーミング (2008)
  • 著者名/発表者名: 大津雅亮
  • 学会等名: 日本金属学会九州支部日本鉄鋼協会九州支部共催平成20年度合同学術講演大会
  • 発表場所: 福岡市
  • 年月日: 2008-06-07
• [学会発表] 金属ガラス箔のレーザフォーミング (2008)
  • 著者名/発表者名: 大津雅亮
  • 学会等名: 平成20年度塑性加工春季講演会
  • 発表場所: 習志野市
  • 年月日: 2008-05-23
• [学会発表] Laser Forming of Pd-Based Thin Film Metallic Glass (2008)
  • 著者名/発表者名: 大津雅亮
  • 学会等名: 4th KU-KITECH Symposium on Bulk Metallic Glasses and Advanced Materials
  • 発表場所: 熊本市
  • 年月日: 2008-05-19
• [学会発表] Laser Forming of single crystalline silicon (2008)
  • 著者名/発表者名: 大津雅亮
  • 学会等名: The 1st International Student Conference on Advanced Science and Technology
  • 発表場所: 熊本市
  • 年月日: 2008-03-14
• [学会発表] Laser Forming of Single Crystal Silicon (2007)
  • 著者名/発表者名: 大津雅亮
  • 学会等名: Asian Workshop on Nano/Micro Forming Technology
  • 発表場所: 札幌市
  • 年月日: 2007-10-26
• [学会発表] 単結晶シリコンのレーザフォーミング (2007)
  • 著者名/発表者名: 大津雅亮
  • 学会等名: 日本金属学会九州支部日本鉄鋼協会九州支部共催平成19年度合同学術講演大会
  • 発表場所: 熊本市
  • 年月日: 2007-06-08