2008 年度研究成果報告書

フォトレジスト廃液からの水酸化テトラアルキルアンモニウムの分離回収プロセスの開発

研究課題

研究課題/領域番号	19760530
研究種目	若手研究(B)
配分区分	補助金
研究分野	化工物性・移動操作・単位操作
研究機関	北九州市立大学
研究代表者	西浜章平北九州市立大学, 国際環境工学部, 准教授 (00347668)
研究期間 (年度)	2007 – 2008
キーワード	反応・分離工学 / 廃棄物処理 / イオン交換
研究概要	本研究では、吸着法を用いた、フォトレジスト廃液からの水酸化テトラアルキルアンモニウム(TAAH)の低コストかつ省スペースな分離・回収プロセスについて、エンドオブパイプで廃水処理が可能なシステムを確立することを目的として研究を進めた。ゼオライトAおよびX吸着剤を開発し、バッチ吸着特性を明らかにした。加えて造粒吸着剤を開発し、カラム操作でのTAAHの吸着分離プロセスを開発した。