2008 年度研究成果報告書

ヘリウムビームを用いた飛行時間測定弾性反跳粒子検出法による軽元素分析法の開発

研究課題

研究課題/領域番号	19760621
研究種目	若手研究(B)
配分区分	補助金
研究分野	原子力学
研究機関	(財)若狭湾エネルギー研究センター
研究代表者	安田啓介財団法人若狭湾エネルギー研究センター, 研究開発部, 主査研究員 (00359241)
研究期間 (年度)	2007 – 2008
キーワード	加速器・ビーム工学 / イオンビーム分析
研究概要	ヘリウムビームを用いた飛行時間測定弾性反跳粒子検出法(TOF-ERDA)による軽元素分析法の開発を行った。測定に必要な検出器を製作し、その基本性能を調べた。その結果、本研究で開発した測定系で酸素までの軽元素を十分な検出効率かつ同位体分離が質量分解能で測定できることを示した。また、これをイオン注入試料の測定に適用し、注入された炭素の深さ分布を測定できることを示した。