カーボンナノチューブ配線へ向けたイオン注入による金属電極上への触媒微粒子形成

2008 年度 研究成果報告書

• 研究課題/領域番号: 19860068
• 研究種目: 若手研究(スタートアップ)
• 配分区分: 補助金
• 研究分野: 電子・電気材料工学
• 研究機関: 早稲田大学
• 研究代表者: 岩崎 孝之 早稲田大学, 理工学術院, 助手 (80454031)
• 研究期間 (年度): 2007 – 2008
• キーワード: カーボンナノチューブ / LSI配線 / イオン注入 / 触媒微粒子

研究概要

カーボンナノチューブ配線実現のために重要な金属膜上への触媒形成をイオン注入により行い、その触媒からカーボンナノチューブを合成することに成功した。Niイオンを直接金属膜に注入するとカーボンナノチューブ合成のための触媒機能を失ってしまうが、金属膜上にバッファ層を堆積させることにより活性な触媒微粒子の形成に成功した。さらに、伝導特性向上に必要な低欠陥カーボンナノチューブ合成を無水素雰囲気下での化学気相合成法により実現した。

研究成果

• [雑誌論文] Vertically aligned carbon nanotube growth from Ninanoparticles prepared by ionimplantation (2008)
  • 著者名/発表者名: T. Iwasaki, S. Mejima, T. Koide, R. Morikane, H. Nakayama, T. Shinada, I. Ohdomari, H. Kawarada
  • 雑誌名: Diamond and Related Materials 17 ページ: 1443-1446
  • 査読あり
• [学会発表] Mechanism Analysis of Interrupted Growth of Single-Walled Carbon Nanotube Arrays (2008)
  • 著者名/発表者名: T. Iwasaki, J. Robertson, H. Kawarada
  • 学会等名: Nanotube08
  • 発表場所: Motpellier, France
  • 年月日: 20080600
• [学会発表] 集束イオンビームにより打ち込まれたNi触媒からのCNT成長 (2007)
  • 著者名/発表者名: 中山智, 森金亮太, 岩崎孝之, 小出敬, 中山英樹, 品田賢宏, 大泊巌, 川原田洋
  • 学会等名: 第21回ダイヤモンドシンポジウム
  • 発表場所: 長岡技術科学大学
  • 年月日: 20071100
• [学会発表] Vertically Aligned Carbon Nanotubes from Ni Catalysts Implanted by Focused-Ion-Beam (2007)
  • 著者名/発表者名: T. Iwasaki, T. Koide, R. Morikane, S. Mejima, H. Nakayama, T. Shinada, I. Ohdomari, H. Kawarada
  • 学会等名: 18th European Conference on Diamond, Diamond-Like Materials, Carbon Nanotubes, and Nitrides
  • 発表場所: Berlin, Germany
  • 年月日: 20070900
• [学会発表] 集束イオンビームによる打ち込みNi触媒からのCNT成長 (II) (2007)
  • 著者名/発表者名: 森金亮太, 岩崎孝之, 小出敬, 目島壮一, 中山英樹, 品田賢宏, 大泊巌, 川原田洋
  • 学会等名: 2007年秋季第68回応用物理学会学術講演会
  • 発表場所: 北海道工業大学
  • 年月日: 20070900