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2019 年度 実績報告書

先進プラズマ活用1次元ナノカーボン材料の完全原子配列制御合成と革新的応用開拓

研究課題

研究課題/領域番号 19H00664
研究機関東北大学

研究代表者

加藤 俊顕  東北大学, 工学研究科, 准教授 (20502082)

研究分担者 大塚 朋廣  東北大学, 電気通信研究所, 准教授 (50588019)
澁田 靖  東京大学, 大学院工学系研究科(工学部), 准教授 (90401124)
研究期間 (年度) 2019-04-01 – 2023-03-31
キーワードプラズマCVD / カーボンナノチューブ / グラフェンナノリボン / 原子構造制御合成
研究実績の概要

研究四年計画の初年度にあたる今年度は、1次元ナノカーボン材料の原子レベル構造制御合成と応用に向けた研究を行い以下の成果を得た。
第一に、カーボンナノチューブのカイラリティ制御合成に向け、その場観測プラズマCVD装置を立上げた。これにより、ナノチューブ合成時におけるプラズマ活性種を四重極質量分析器で、またプラズマ発光因子を発光分光分析器でそれぞれリアルタイムにモニター可能となった。これにより、プラズマ条件と合成されたカーボンナノチューブカイラリティの相関を次年度以降に明らかにする。
第二に、グラフェンナノリボンの量子物性計測に向け、研究分担者と協力し極低温強磁場環境下での電気伝導特性評価システムを構築した。本システムで次年度以降グラフェンナノリボンの詳細な量子物性計測を行う。
第三に、ナノカーボン成長機構解明に向け、研究分担者と協力し分子動力学シミュレーションによるカーボンナノチューブの成長のモデル化に関するシステム構築を行った。本誌システムにより次年度以降カーボンナノチューブのカイラリティ選択性とプラズマの効果に関して詳細な検討を行う予定である。
第四に、1次元ナノカーボン材料の熱電計測が可能なシステムの構築を行った。さらに本システムでグラフェンナノリボンを対象とした詳細な熱電計測を行った結果、本手法で合成した架橋グラフェンナノリボンが極めて優れた熱電材料であることが判明した。
第五に、1次元ナノカーボン材料と類似の原子層物質である遷移金属ダイカルコゲナイドに関して、成長状態を可視化するその場観測合成に世界で初めて成功した。また、これにより、特異な核発生機構を明らかとした。

現在までの達成度 (区分)
現在までの達成度 (区分)

1: 当初の計画以上に進展している

理由

研究四年計画の初年度に当たる今年度は、1次元ナノカーボンの構造制御合成に向けた新規合成システム、量子物性評価に向けた極低温強磁場環境下での電気伝導計測システム、詳細な熱電計測システム、さらには分子動力学シミュレーションシステム等の研究基盤の構築を予定していた。実際これ等のシステムの立ち上げを完了し、次年度以降で本格稼働できる準備が整っている。
さらに、上記システム構築に加えいくつかの特筆すべき実験結果も得られた。熱電計測においては、1次元ナノカーボン材料であるグラフェンナノリボンに対する物性計測を実際に行い、本プロジェクトの特徴である先進プラズマプロセスにより合成した架橋グラフェンナノリボンが極めて優れた熱電材料であることを実証した。また、類似の原子層物質である遷移金属ダイカルコゲナイド(TMD)に関しても研究展開を広げ、TMD成長に関するその場観測CVD装置を世界で初めて開発し、本装置によりこれまで未解明であった特異な核発生機構を明らかにした。さらにこれら二つの成果は国際一流雑誌への掲載にも至っている。
以上の理由により、当初予定の実験設備構築に加え、二つの特筆すべき研究成果の取得、及び成果発表にまで至ったことから、当初の計画以上に進展していると判断した。

今後の研究の推進方策

研究四年計画の二年目以降にあたる今後の研究では、初年度に確立したその場観測プラズマCVD装置を活用し、1次元ナノカーボン材料の原子レベルでの構造制御合成を実現する。また、合成機構解明にも取り組み、実験結果と分子動力学シミュレーションとの相互連携により、原子構造決定におけるプラズマ効果の解明を行う。
応用開拓に関しては、初年度に構築した極低温強磁場電気伝導特性評価システムを活用し、本手法で合成した特徴的なグラフェンナノリボンの量子物性評価を行う。また、熱電計測に関しては、既に測定が進んでいるグラフェンナノリボンに加え、カーボンナノチューブに対しても詳細な熱電特性計測を行い、本手法で合成した原子構造制御ナノ材料の応用展開の可能性を探求する予定である。

  • 研究成果

    (33件)

すべて 2020 2019

すべて 雑誌論文 (3件) (うち国際共著 1件、 査読あり 3件、 オープンアクセス 1件) 学会発表 (27件) (うち国際学会 13件、 招待講演 5件) 図書 (3件)

  • [雑誌論文] Improvement in growth yield of single-walled carbon nanotubes with narrow chirality distribution by pulse plasma CVD2019

    • 著者名/発表者名
      B. Xu, T. Kaneko, and T. Kato
    • 雑誌名

      Frontiers of Chemical Science and Engineering

      巻: 13 ページ: 485-492

    • DOI

      10.1007/s11705-019-1831-2

    • 査読あり
  • [雑誌論文] Enhanced Thermoelectric Performance of As-Grown Suspended Graphene Nanoribbons2019

    • 著者名/発表者名
      Q.-Y. Li, T. Feng, W. Okita, Y. Komori, H. Suzuki, T. Kato, T. Kaneko, T. Ikuta, X. Ruan, K. Takahashi
    • 雑誌名

      ACS Nano

      巻: 13 ページ: 9182-9189

    • DOI

      10.1021/acsnano.9b03521

    • 査読あり / 国際共著
  • [雑誌論文] Nucleation dynamics of single crystal WS2 from droplet precursors uncovered by in-situ monitoring2019

    • 著者名/発表者名
      C. Li, T. Kameyama, T. Takahashi, T. Kaneko, T. Kato
    • 雑誌名

      Scientific Reports

      巻: 9 ページ: 12958-1-7

    • DOI

      10.1038/s41598-019-49113-0

    • 査読あり / オープンアクセス
  • [学会発表] 高純度(6,4)単層カーボンナノチューブ合成に向けた前駆体制御2020

    • 著者名/発表者名
      椎名 悟,金子 俊郎,加藤 俊顕
    • 学会等名
      第67回応用物理学会春季学術講演会
  • [学会発表] 伝導ギャップ制御に向けたホモ接合グラフェンナノリボンの合成2020

    • 著者名/発表者名
      小倉 士忠,金子 俊郎,加藤 俊顕
    • 学会等名
      第58回フラーレン・ナノチューブ・グラフェン総合シンポジウム
  • [学会発表] その場観測により観測された単層WS2の高速成長2020

    • 著者名/発表者名
      亀山 智矢,金子 俊郎,加藤 俊顕
    • 学会等名
      第58回フラーレン・ナノチューブ・グラフェン総合シンポジウム
  • [学会発表] Fabrication of Transparent Solar Cell with Atomically Thin Layered Materials2019

    • 著者名/発表者名
      X. He , Y. Yamaguchi , T. Kaneko , and T. Kato
    • 学会等名
      Compound Semiconductor Week 2019
    • 国際学会
  • [学会発表] Integrated synthesis of graphene nanoribbon-based field effect transistor with high on/off ratio2019

    • 著者名/発表者名
      N. Ogura , H. Suzuki , T. Kaneko , and T. Kato
    • 学会等名
      Compound Semiconductor Week 2019
    • 国際学会
  • [学会発表] Structural controlled synthesis and solar cell application of TMDs2019

    • 著者名/発表者名
      T. Kato and T. Kaneko
    • 学会等名
      3rd International Workshop on 2D Materials
    • 国際学会 / 招待講演
  • [学会発表] Performance improvement of graphene nanoribbon transistor with plasma CVD2019

    • 著者名/発表者名
      N. Ogura , H. Suzuki , T. Kaneko , T. Kato
    • 学会等名
      The Joint Conference of XXXIV International Conference on Phenomena in Ionized Gases (XXXIV ICPIG) and the 10th International Conference on Reactive Plasmas (ICRP-10)
    • 国際学会
  • [学会発表] Plasma CVD synthesis of (6,4) single-walled carbon nanotubes and its growth mechanism2019

    • 著者名/発表者名
      S. Shiina , T. Shima , B. Xu , T. Kaneko , T. Kato
    • 学会等名
      The Joint Conference of XXXIV International Conference on Phenomena in Ionized Gases (XXXIV ICPIG) and the 10th International Conference on Reactive Plasmas (ICRP-10)
    • 国際学会
  • [学会発表] グラフェンナノリボンの大規模集積化合成と応用2019

    • 著者名/発表者名
      T. Kato
    • 学会等名
      グラフェンコンソーシアム第20回研究講演会
    • 招待講演
  • [学会発表] Flow rate effects on layer-number-controlled synthesis of integrated WS22019

    • 著者名/発表者名
      X. Qiang , T. Kameyama , C. Li , T. Kaneko , T. Kato
    • 学会等名
      2019年度電気関係学会東北支部連合大会
  • [学会発表] Efficient fabrication of graphene nanoribbon quantum dot with advanced plasma CVD2019

    • 著者名/発表者名
      M. Seo , W. Okita , H. Suzuki , T. Kaneko , T. Kato
    • 学会等名
      2019年度電気関係学会東北支部連合大会
  • [学会発表] Plasma CVD synthesis of high purity (6,4) single-walled carbon nanotubes2019

    • 著者名/発表者名
      S. Shiina , T. Shima , B. Xu , T. Kaneko , T. Kato
    • 学会等名
      2019年度電気関係学会東北支部連合大会
  • [学会発表] In-situ Monitoring of Monolayer WS2 Growth2019

    • 著者名/発表者名
      T. Kameyama , C. Li , T. Kaneko , T. Kato
    • 学会等名
      第57回フラーレン・ナノチューブ・グラフェン総合シンポジウム
  • [学会発表] The effect of gas phase species on chirality selectivity between (6,4) and (6,5) single-walled carbon nanotubes2019

    • 著者名/発表者名
      S. Shiina , T. Shima , B. Xu , T. Kaneko , T. Kato
    • 学会等名
      第57回フラーレン・ナノチューブ・グラフェン総合シンポジウム
  • [学会発表] Work function modulation of transparent electrode for fabrication of WS2-based highly transparent solar cell2019

    • 著者名/発表者名
      X. He , Y. Yamaguchi , T. Kaneko , and T. Kato
    • 学会等名
      第57回フラーレン・ナノチューブ・グラフェン総合シンポジウム
  • [学会発表] Graphene nanoribbon electronics fabricated with advanced plasma processing2019

    • 著者名/発表者名
      T. Kato , H. Suzuki , and T. Kaneko
    • 学会等名
      The 12th Asian-European International Conference on Plasma Surface Engineering
    • 国際学会 / 招待講演
  • [学会発表] 二次元シートの集積化合成と層数制御2019

    • 著者名/発表者名
      強 効銘,亀山 智矢,李 超,金子 俊郎,加藤 俊顕
    • 学会等名
      第13回プラズマエレクトロニクスインキュベーションホール
  • [学会発表] プラズマCVDによるグラフェンナノリボン量子ドットの形成2019

    • 著者名/発表者名
      瀬尾 瑞樹,大北 若奈,鈴木 弘朗,金子 俊郎,加藤 俊顕
    • 学会等名
      第13回プラズマエレクトロニクスインキュベーションホール
  • [学会発表] (6,4)単層カーボンナノチューブのプラズマCVD合成における気相効果2019

    • 著者名/発表者名
      椎名 悟,志摩 拓哉,許 斌,金子 俊郎,加藤 俊顕
    • 学会等名
      第13回プラズマエレクトロニクスインキュベーションホール
  • [学会発表] その場観測による単層WS2合成物理因子の直接計測2019

    • 著者名/発表者名
      亀山 智矢,李 超,金子 俊郎,加藤 俊顕
    • 学会等名
      第80回応用物理学会秋季学術講演会
  • [学会発表] Mechanism of persistent photo conductivity in functionalized graphene nanoribbons2019

    • 著者名/発表者名
      N. Ogura , H. Suzuki , T. Kaneko , T. Kato
    • 学会等名
      RECENT PROGRESS IN GRAPHENE & 2D MATERIALS RESEARCH 2019
    • 国際学会
  • [学会発表] Scalable fabrication of TMD-based highly-transparent solar cells2019

    • 著者名/発表者名
      X. He , Y. Yamaguchi , T. Kaneko , and T. Kato
    • 学会等名
      RECENT PROGRESS IN GRAPHENE & 2D MATERIALS RESEARCH 2019
    • 国際学会
  • [学会発表] CVD growth of 1 million graphene nanoribbons on the device2019

    • 著者名/発表者名
      T. Kato and T. Kaneko
    • 学会等名
      The 4th Graphene Flagship EU-Japan Workshop on Graphene and related 2D materials
    • 国際学会 / 招待講演
  • [学会発表] Highly-transparent photovoltaic based on atomically thin 2D materials2019

    • 著者名/発表者名
      X. He , Y. Yamaguchi , T. Kaneko , and T. Kato
    • 学会等名
      Materials Research Meeting 2019
    • 国際学会
  • [学会発表] Wafer scale fabrication and optoelectrical applications of suspended graphene nanoribbon arrays2019

    • 著者名/発表者名
      T. Kato and T. Kaneko
    • 学会等名
      The 11th International Conference on Advanced Materials and Devices
    • 国際学会 / 招待講演
  • [学会発表] Fabrication of graphene nanoribbon-based quantum device with Plasma CVD2019

    • 著者名/発表者名
      M. Seo , W. Okita , H. Hiroo , T. Kaneko , T. Kato
    • 学会等名
      Materials Research Meeting 2019
    • 国際学会
  • [学会発表] Chirality selective growth of (6,4) single-walled nanotubes by plasma CVD2019

    • 著者名/発表者名
      S. Shiina , T. Shima , B. Xu , T. Kaneko , T. Kato
    • 学会等名
      Materials Research Meeting 2019
    • 国際学会
  • [図書] 月刊ファインケミカル(ナノグラフェンの合成と用途開発)2020

    • 著者名/発表者名
      加藤俊顕, 金子俊郎
    • 総ページ数
      77(9)
    • 出版者
      株式会社シーエムシー出版
  • [図書] 表面と真空2019

    • 著者名/発表者名
      加藤俊顕, 鈴木弘朗, 金子俊郎
    • 総ページ数
      68(6)
    • 出版者
      日本表面真空学会
  • [図書] SciTech Europa Quarterly2019

    • 著者名/発表者名
      T. Kato
    • 総ページ数
      232(2)
    • 出版者
      Pan European Networks Ltd

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公開日: 2021-01-27  

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