| 研究課題/領域番号 |
19H00736
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| 研究種目 |
基盤研究(A)
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| 配分区分 | 補助金 |
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| 応募区分 | 一般 |
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| 審査区分 |
中区分18:材料力学、生産工学、設計工学およびその関連分野
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| 研究機関 | 東京大学 |
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研究代表者 |
三村 秀和 東京大学, 先端科学技術研究センター, 教授 (30362651)
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| 研究分担者 |
中川 桂一 東京大学, 大学院工学系研究科(工学部), 講師 (00737926)
本山 央人 東京大学, 大学院理学系研究科(理学部), 助教 (00822636)
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| 研究期間 (年度) |
2019-04-01 – 2023-03-31
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| 審査結果の所見の概要 |
本研究では、形状精度50 nm（P-V）のウォルターミラーをさらに高精度化するとともに、それを用いた日本発の革新的なX線光学システムを開発する。特に本研究課題では、高次高調波（HHG）をウォルターミラーに照明して集光ビームの焦点を計測し、集光ビームの波面誤差を回復させることを試みる。さらにイオンビームスパッタ法による形状修正装置を活用して、回転体形状をもつミラー内面の形状を修正する。
本研究チームの研究成果は、世界的に注目されており、準備状況も良好であり、推進すべき課題である。
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