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2021 年度 研究成果報告書

2Dヘテロ界面特性の理解に基づく2DトンネルFETの構築

研究課題

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研究課題/領域番号 19H00755
研究種目

基盤研究(A)

配分区分補助金
応募区分一般
審査区分 中区分21:電気電子工学およびその関連分野
研究機関東京大学

研究代表者

長汐 晃輔  東京大学, 大学院工学系研究科(工学部), 教授 (20373441)

研究分担者 吾郷 浩樹  九州大学, グローバルイノベーションセンター, 教授 (10356355)
研究期間 (年度) 2019-04-01 – 2022-03-31
キーワード超低消費電力 / トンネル現象 / 電界効果トランジスタ / 2次元材料
研究成果の概要

低消費電力化だけでなくトンネル距離をvan der Waals距離にまで低減し高い駆動電流の実現が可能な二次元トンネルFETが研究されている.本研究では,相補的動作を目指しN+型2次元結晶探索を行いSnS2がトンネルFETに対する高濃度n型結晶として適していることを見出した.さらに,完全縮退のため安定なP+型を示すP+MoS2/ N-MoS2ヘテロ構造及び,界面準位を低減できるh-BNをゲートに選択し,チャネルのバンドギャップの層数依存性に着目してS.S.をMOSFETの理論限界値である60 mV/dec以下の51 mV/decのS.S.を達成した.本結果は,超低消費電力に繋がる成果である.

自由記述の分野

半導体工学

研究成果の学術的意義や社会的意義

IoTデバイス数は,数年後には~400億個に達すると指摘されているが,電子デバイスの超低消費電力化が普及の鍵である.本研究では,従来のSiトランジスタ動作の急峻性を表すSSにおいて理論限界値である60 mV/dec以下の51 mV/decを達成した.本成果は,低消費電力デバイスとして期待がかかる2次元トンネルFETの低消費電力動作を実証したものであり,今後の展開が大いに期待される.

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公開日: 2023-01-30  

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