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2022 年度 実績報告書

半導体・酸化物複合ナノワイヤによる光・電子・スピン工学の融合

研究課題

研究課題/領域番号 19H00855
研究機関北海道大学

研究代表者

石川 史太郎  北海道大学, 量子集積エレクトロニクス研究センター, 教授 (60456994)

研究分担者 村山 明宏  北海道大学, 情報科学研究院, 教授 (00333906)
長島 一樹  東京大学, 大学院工学系研究科(工学部), 准教授 (10585988)
研究期間 (年度) 2019-04-01 – 2023-03-31
キーワードナノワイヤ / 半導体 / 分子線エピタキシー / シリコン
研究実績の概要

化合物半導体の高い電子・光物性と金属酸化物の多様で安定した機能が協働する高機能ナノ材料を提案、これを用いたフォトニクス・エレクトロニクス・スピントロニクス融合型ナノテクノロジーの創出を目指し研究を実施した。
研究期間をとおして研究基盤となるナノワイヤ試料合成技術の確立と高度化、その応用への展望を拓く研究に取り組み、以下の成果を得た。
1. GaAs/AlGaOxヘテロ構造ナノワイヤの大面積化とそれから得られる白色光の特性把握に取り組んだ。GaAs/高Al組成AlGaAsヘテロ構造ナノワイヤの大容量成長と酸化条件を最適化することで、紫外域のLED励起で目視可能な白色蛍光体を得ることができ、その状況をスマートフォンカメラで観察記録することができた。
2. ナノワイヤの光学特性、構造特性改善のために、加工基板を用いた選択成長を行った。その結果、従来と3倍を超える広いV属/III族元素供給比でのナノワイヤ結晶成長が可能であり、適切な条件下では高精度の構造制御と発光特性改善が得られることを見出した。これより、多重量子井戸構造を含む良好な希釈窒素GaAs系ナノワイヤの合成に成功し、ファイバー通信帯域、および太陽電池に有効な赤外吸収帯域で動作可能となる展望を得た。
3. 通信光源材料、スピンフィルター材料と期待できるGaAs/GaNAsBi/GaAsコアーマルチシェルナノワイヤ構造の形成とそこから室温で通信帯域波長1.2μmの発光の観察に成功した。また、同材料の特徴的な結晶構造変形や積層欠陥界面の状態から、新奇な極微細機能性半導体ナノ構造が得られることを見出した。
4. Si基板上で合成するGaAsナノワイヤの大面積・高品質化に成功し、2インチ全面で良好な発光特性を持つGaAsナノワイヤを7億本程度均質に集積、そのデバイス応用の展望が得られた。

現在までの達成度 (段落)

令和4年度が最終年度であるため、記入しない。

今後の研究の推進方策

令和4年度が最終年度であるため、記入しない。

  • 研究成果

    (24件)

すべて 2023 2022

すべて 雑誌論文 (3件) (うち国際共著 1件、 査読あり 2件、 オープンアクセス 2件) 学会発表 (21件) (うち国際学会 4件、 招待講演 1件)

  • [雑誌論文] Wafer-scale integration of GaAs/AlGaAs core?shell nanowires on silicon by the single process of self-catalyzed molecular beam epitaxy2023

    • 著者名/発表者名
      Minehisa Keisuke、Murakami Ryo、Hashimoto Hidetoshi、Nakama Kaito、Sakaguchi Kenta、Tsutsumi Rikuo、Tanigawa Takeru、Yukimune Mitsuki、Nagashima Kazuki、Yanagida Takeshi、Sato Shino、Hiura Satoshi、Murayama Akihiro、Ishikawa Fumitaro
    • 雑誌名

      Nanoscale Advances

      巻: 5 ページ: 1651~1663

    • DOI

      10.1039/d2na00848c

    • 査読あり / オープンアクセス
  • [雑誌論文] Structural evaluation of GaAs1?Bi obtained by solid-phase epitaxial growth of amorphous GaAs1?Bi thin films deposited on (0 0 1) GaAs substrates2023

    • 著者名/発表者名
      Ueda Osamu、Ikenaga Noriaki、Horita Yukihiro、Takagaki Yuto、Nishiyama Fumitaka、Yukimune Mitsuki、Ishikawa Fumitaro、Tominaga Yoriko
    • 雑誌名

      Journal of Crystal Growth

      巻: 601 ページ: 126945~126945

    • DOI

      10.1016/j.jcrysgro.2022.126945

  • [雑誌論文] Designing Semiconductor Nanowires for Efficient Photon Upconversion via Heterostructure Engineering2022

    • 著者名/発表者名
      Jansson Mattias、Ishikawa Fumitaro、Chen Weimin M.、Buyanova Irina A.
    • 雑誌名

      ACS Nano

      巻: 16 ページ: 12666~12676

    • DOI

      10.1021/acsnano.2c04287

    • 査読あり / オープンアクセス / 国際共著
  • [学会発表] Cylindrical membrane made of enrolled GaAs/AlGaOx core-shell nanowires through the strain deformation of shell oxides2022

    • 著者名/発表者名
      Hidetoshi Hashimoto, Takeru Tanigawa, Keisuke Minehisa, Kaito Nakama, Kazuki Nagashima, Takeshi Yanagida, Fumitaro Ishikawa
    • 学会等名
      35th International Microprocesses and Nanotechnology Conference (MNC2022)
    • 国際学会
  • [学会発表] Selective Area Molecular Beam Epitaxial Growth of GaAs/GaInNAs Core-Multishell Nanowires emitting at 1.2 μm on Silicon (111)2022

    • 著者名/発表者名
      Kaito Nakama, Mitsuki Yukimune, Akio Higo, Fumitaro Ishikawa
    • 学会等名
      International Conference on Optical MEMS and Nanophotonics 2022 (OMN2022)
    • 国際学会
  • [学会発表] Molecular beam epitaxy of GaAs-related nanowires over 2-inch Si(111) substrate for large volume nanowires synthesis2022

    • 著者名/発表者名
      Keisuke Minehisa, Hidetoshi Hashimoto, Kaito Nakama, Takeru Tanigawa, Kento Sakaguchi, Mitsuki Yukimune, Fumitaro Ishikawa
    • 学会等名
      Compound Semiconductor Week 2022 (CSW2022)
    • 国際学会
  • [学会発表] Internal Photoemission Characterization for Low-Temperature-Grown GaAsBi Layers2022

    • 著者名/発表者名
      Hiroki Imabayashi, Minato Umeda, Kenji Shiojima, Tatsuya Umenishi, Yoriko Tominaga, Mitsuki Yukimune, Fumitaro Ishikawa, and Osamu Ueda
    • 学会等名
      Advanced Metallization Conference 2022, 31st Asian Session (ADMETA plus)
    • 国際学会
  • [学会発表] MBE研究で続けてきたこと2022

    • 著者名/発表者名
      石川史太郎
    • 学会等名
      第4回電子材料若手交流会(ISYSE) 研究会
    • 招待講演
  • [学会発表] 白色蛍光体AlGaOxナノワイヤのラビング処理及びその特性評価2022

    • 著者名/発表者名
      谷川 武瑠, 岡野 昂輝, 石川 史太郎
    • 学会等名
      第83回 応用物理学会秋季学術講演会
  • [学会発表] 低温成長GaAs1-xBixのホッピング伝導機構の解析2022

    • 著者名/発表者名
      原田南斗、梅西達哉、香西優作、富永依里子、行宗詳規、石川史太郎、梶川靖友
    • 学会等名
      第83回 応用物理学会秋季学術講演会
  • [学会発表] Estimation of optimal conditions for semiconductor nanowires by MBE growth using machine learning2022

    • 著者名/発表者名
      T. Hara, Y. Maeda, A. Kusaba, Y. Kangawa, F. Ishikawa, T. Okuyama
    • 学会等名
      第41回電子材料シンポジウム
  • [学会発表] Dependence of optical signal response time on Bi content in low-temperature-grown GaAs1-xBix2022

    • 著者名/発表者名
      S. Saito, T. Umenishi, M. Harada, Y. Kozai, Y. Tominaga, M. Yukimune, F. Ishikawa, O. Kojima
    • 学会等名
      第41回電子材料シンポジウム
  • [学会発表] 2 inch Wafer Scale GaAs Nanowires Synthesis by Self-Catalyzed Molecular Beam Epitaxy2022

    • 著者名/発表者名
      K. Minehisa, H. Hashimoto, K. Nakama, T. Tanigawa, K. Sakaguchi, M. Yukimune, F. Ishikawa
    • 学会等名
      第41回電子材料シンポジウム
  • [学会発表] Strain Deformation of GaAs/AlGaOx Core-Shell Nanowires Making Cylindrical Microstructure2022

    • 著者名/発表者名
      H. Hashimoto, T. Tanigawa, K. Minehisa, K. Nakama, K. Nagashima, T. Yanagida, F. Ishikawa
    • 学会等名
      第41回電子材料シンポジウム
  • [学会発表] GaAs/GaInNAs Core-Multishell Nanowires Arrays Emitting at 1.28 ?m on Patterned Silicon (111) Grown by Molecular Beam Epitaxy2022

    • 著者名/発表者名
      K. Nakama, M. Yukimune, A. Higo, F. Ishikawa
    • 学会等名
      第41回電子材料シンポジウム
  • [学会発表] 加工基板を用いた位置選択 MBE 法によるSi(111)GaAs上ナノワイヤ成長条件の検討2022

    • 著者名/発表者名
      中間海音, 行宗詳規, 肥後昭男, 石川史太郎
    • 学会等名
      第 14 回ナノ構造エピタキシャル成長講演会
  • [学会発表] GaAs/AlGaOxコア-シェルナノワイヤの自然酸化による剥離とシリンダ形成2022

    • 著者名/発表者名
      橋本英季, 峰久恵輔, 中間海音, 谷川武瑠, 長島一樹, 柳田剛, 石川史太郎
    • 学会等名
      第 14 回ナノ構造エピタキシャル成長講演会
  • [学会発表] パターン開口Si加工基板を用いたMBE 法によるGaAs 系ナノワイヤ成長条件最適化2022

    • 著者名/発表者名
      峰久恵輔, 橋本英季, 中間海音, 谷川武瑠, 行宗詳規, 石川史太郎
    • 学会等名
      第 14 回ナノ構造エピタキシャル成長講演会
  • [学会発表] GaAs/AlGaOxコア-シェルナノワイヤ埋込構造の成長と最外殻シェル層に起因する構造変形2022

    • 著者名/発表者名
      橋本 英季, 峰久 恵輔, 中間 海音, 谷川 武瑠, 長島 一樹, 柳田 剛, 石川 史太郎
    • 学会等名
      第70回応用物理学会春季学術講演会
  • [学会発表] MBE法を用いた無加工2インチ Si 基板上 GaInNAs ナノワイヤ成長2022

    • 著者名/発表者名
      峰久 恵輔, 橋本 英季, 中間 海音, 谷川 武瑠, 行宗 詳規, 石川 史太郎
    • 学会等名
      第70回応用物理学会春季学術講演会
  • [学会発表] パターン開口Si加工基板を用いたMBE 法によるGaAs 系ナノワイヤ成長条件最適化2022

    • 著者名/発表者名
      中間 海音, 行宗 詳規, 峰久 恵輔, 肥後 昭男, 石川 史太郎
    • 学会等名
      第70回応用物理学会春季学術講演会
  • [学会発表] 低温 MBE 成長 GaAsBi 層の光電評価2022

    • 著者名/発表者名
      梅田皆友、今林弘殻、塩島謙次、梅西達哉、富永依里子、行宗詳規、石川史太郎、上田修
    • 学会等名
      第70回応用物理学会春季学術講演会
  • [学会発表] (001)GaAs基板上のGaAs1-xBix薄膜の構造評価(1) 熱処理した低温成長GaAs1-xBix薄膜中の欠陥のTEM評価2022

    • 著者名/発表者名
      上田修、池永訓昭、堀田行紘、高垣佑斗、西山文隆、行宗詳規、石川史太郎、富永依里子
    • 学会等名
      第70回応用物理学会春季学術講演会
  • [学会発表] (001)GaAs基板上のGaAs1-xBix薄膜の構造評価(2)固相成長したGaAs1-xBix薄膜中の欠陥のTEM評価2022

    • 著者名/発表者名
      上田修、池永訓昭、堀田行紘、高垣佑斗、西山文隆、行宗詳規、石川史太郎、富永依里子
    • 学会等名
      第70回応用物理学会春季学術講演会

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公開日: 2023-12-25  

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