| 研究課題/領域番号 |
19H00871
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| 研究機関 | 徳島大学 |
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研究代表者 |
安井 武史 徳島大学, ポストLEDフォトニクス研究所, 教授 (70314408)
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| 研究分担者 |
山本 裕紹 宇都宮大学, 工学部, 教授 (00284315)
南川 丈夫 徳島大学, ポストLEDフォトニクス研究所, 准教授 (10637193)
長谷 栄治 徳島大学, ポストLEDフォトニクス研究所, 特任助教 (50805512)
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| 研究期間 (年度) |
2019-04-01 – 2022-03-31
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| キーワード | 光コム / レーザー共焦点顕微鏡 / 蛍光顕微鏡 / スキャンレス / 位相イメージ |
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| 研究実績の概要 |
デュアル光コム顕微鏡で取得した共焦点光振幅イメージと共焦点光位相イメージをシームレス接続する技術の開発を行った。究極は、波長程度の共焦点深さ分解能を実現し、それと共焦点光位相イメージの位相折返し周期を一致させることにより、単一位相スロープを選択的に抽出することであるが、それに先立ち、これまでに開発した複数波長程度の共焦点深さ分解能を有するデュアル光コム顕微鏡を用いて原理検証実験を行った。まず、共焦点光振幅イメージと共焦点光位相イメージのシームレス接続にあたっては、精密な深さ方向のサンプルステージ走査が必要であることから、精密３次元ステージを現有のデュアル光コム顕微鏡に組み込む装置改造を行った。次に、基準表面サンプルを用いて、共焦点光振幅イメージと共焦点光位相イメージに関する深さプロファイルの評価を行ったところ、高い再現性と共に、両者の高い相関性が確認出来た。この高い相関性により、共焦点光振幅イメージの深さプロファイルが、共焦点光位相イメージの位相折返し回数を決定するのに利用可能であることを確認した。更に、段差サンプルや内部構造サンプルを測定対象として、共焦点光振幅イメージと共焦点光位相イメージのシームレス接続を行うことにより、絶対位相に基づいたワイドダイナミックレンジな表面形状測定が可能であることを確認した。今後は、開口数の高い対物レンズを利用することにより、深さ方向の分解能をサブ波長レベルまで向上させ、単一位相スロープを選択的に抽出可能なデュアル光コム顕微鏡を開発する予定である。
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| 現在までの達成度 (段落) |
令和3年度が最終年度であるため、記入しない。
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| 今後の研究の推進方策 |
令和3年度が最終年度であるため、記入しない。
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