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2021 年度 実績報告書

ナノコラム結晶による三原色集積型発光デバイスの革新

研究課題

研究課題/領域番号 19H00874
研究機関上智大学

研究代表者

岸野 克巳  上智大学, 上智大学, 教授 (90134824)

研究分担者 野村 一郎  上智大学, 理工学部, 教授 (00266074)
大音 隆男  山形大学, 大学院理工学研究科, 助教 (20749931)
富樫 理恵  上智大学, 理工学部, 助教 (50444112)
山口 智広  工学院大学, 先進工学部, 教授 (50454517)
研究期間 (年度) 2019-04-01 – 2022-03-31
キーワード三原色集積型光デバイス / ナノコラム / InGaN / LED / レーザ
研究実績の概要

三原色集積型ナノコラムLED/レーザ基盤技術を確立すべく、InGaN系ナノコラム発光色制御の解明と多色域でのナノコラムフォトニック結晶効果の発現を進めた。デバイス作製に適合する高充填率ナノコラムにおいて、ボトムアップとトップダウンナノテンプレートを用いた二通りの手法で発光色制御を検討した。それぞれバルクInGaN発光層とInGaN単一量子井戸発光層を内在化させ、発光波長のコラム径依存性を調べた。思いがけずに、後者の手法では細いコラム径150~200nm領域で赤色発光となり、コラム径の増加とともに緑、青色域へと短波長化することが分かった。赤色域の高効率化にはナノ結晶効果が強く発現する細線ナノコラムの活用が望ましく、それに適合する発光色制御法を得た。一方、さまざまなコラム径・周期を有する規則配列ナノコラムを作製し、フォトニックバンド端波長の構造依存性を調べ、ナノコラムフォトニック結晶の設計指針を示した。これらの考察と並行させ、フォトニック結晶効果と発光色制御を同時に発現させ、高い放射ビーム指向性をもつナノコラムマイクロLEDを実現させ、緑色~橙色における集積型LED動作に成功した。GaN基板上への規則配列InGaN/GaNナノコラムの成長法を開拓し、波長570-580nmの発光を得て、基板裏面に多層膜反射鏡をもつ面発光型レーザに向けて基礎検討を進めた。赤色域ナノコラム高効率化の実験も進め、当該分野トップレベルの外部量子効率を有する赤色域(波長~620nm)のナノコラムLEDを実現し、効率ドループとブルシフトが少なく、ナノコラム優位性を示唆する特性を得た。赤色域のさらなる高効率化を得るため、光吸収の少ないAgプラズモニック結晶に着目し、大きな赤色域発光増強が得られることを示した。ハニカム配列ナノコラム結晶のLEDプロセス法を開拓して、プラズモニックLED実現の基礎技術を開拓した。

現在までの達成度 (段落)

令和3年度が最終年度であるため、記入しない。

今後の研究の推進方策

令和3年度が最終年度であるため、記入しない。

  • 研究成果

    (23件)

すべて 2022 2021 その他

すべて 国際共同研究 (1件) 雑誌論文 (5件) (うち国際共著 1件、 査読あり 5件、 オープンアクセス 1件) 学会発表 (17件) (うち国際学会 2件、 招待講演 4件)

  • [国際共同研究] ノルウェー科学技術大学(ノルウェー)

    • 国名
      ノルウェー
    • 外国機関名
      ノルウェー科学技術大学
  • [雑誌論文] Photonic band characterization in InGaN/GaN nanocolumn arrays with triangular and honeycomb lattices by angle-resolved micro-photoluminescence measurements2021

    • 著者名/発表者名
      T. Oto, M. Okamura, Y. Matsui, K. Motoyama, S. Ishizawa, R. Togashi and K. Kishino
    • 雑誌名

      Jpn. J. Appl. Phys.

      巻: 60 ページ: 060904 (5pp)

    • DOI

      10.35848/1347-4065/abfeaa

    • 査読あり
  • [雑誌論文] Graphene-Based Transparent Conducting Substrates for GaN/AlGaN Nanocolumn Flip-Chip Ultraviolet Light-Emitting Diodes2021

    • 著者名/発表者名
      A. Liudi Mulyo, A. Mukherjee, I. M. Hoiaas, L. Ahtapodov, T. A. Nilsen, H. Hem Toftevaag, P. E. Vullum, K. Kishino, H. Weman and B.-O. Fimland
    • 雑誌名

      ACS Appl. Nano Mater.

      巻: 4 ページ: 9653-9664

    • DOI

      10.1021/acsanm.1c02050

    • 査読あり / 国際共著
  • [雑誌論文] Energy diagram and parameters regarding localized states in InGaN/GaN nanocolumns2021

    • 著者名/発表者名
      N. Shimosako, K. Kinjo, Y. Inose, T. Nakaoka, T. Oto, K. Kishino and K. Ema
    • 雑誌名

      J. Appl. Phys.

      巻: 130 ページ: 143106 (8pp)

    • DOI

      10.1063/5.0065656

    • 査読あり
  • [雑誌論文] Comparison of surface plasmon polariton characteristics of Ag- and Au-based InGaN/GaN nanocolumn plasmonic crystals2021

    • 著者名/発表者名
      T. Oto, M. Namazuta, S. Hayakawa, K. Okamoto, R. Togashi, and K. Kishino
    • 雑誌名

      Appl. Phys. Express

      巻: 14 ページ: 105002(5pp)

    • DOI

      10.35848/1882-0786/ac2632

    • 査読あり
  • [雑誌論文] Monolithic integrated green-to-orange color InGaN-based nanocolumn photonic crystal LEDs with directional radiation beam profiles2021

    • 著者名/発表者名
      A. Yanagihara and K. Kishino
    • 雑誌名

      Appl. Phys. Express

      巻: 15 ページ: 022013 (5pp)

    • DOI

      10.35848/1882-0786/ac4674

    • 査読あり / オープンアクセス
  • [学会発表] Impact of Ga1-xInxN underlayer for growth of Ga1-yInyN/Ga1-xInxN MQW structure2022

    • 著者名/発表者名
      T. Yamaguchi, K. Tahara, J. Yamada, T. Sasaki, H. Yokoyama, T. Onuma, T. Honda, Y. Nanishi, and K. Kishino
    • 学会等名
      The 9th Advanced Functional Materials & Devices (AFMD) and The 4th Symposium for Collaborative Research on Energy Science and Technology (SCREST)
    • 国際学会 / 招待講演
  • [学会発表] InGaNナノコラムプラズモニック結晶における発光増強ダイナミクス2022

    • 著者名/発表者名
      大音隆男, 菊地主馬, 岡本晃一, 富樫理恵, 岸野克巳
    • 学会等名
      第69回応用物理学会春季学術講演会
  • [学会発表] 赤色発光MQWsを有するInGaN系ナノコラムにおけるAlGaN小壁装のAl組成非依存性2022

    • 著者名/発表者名
      山田順平、本田達也、水野愛、富樫理恵、野村一郎、山口智広、本田徹、岸野克巳
    • 学会等名
      第69回応用物理学会春季学術講演会
  • [学会発表] InGaN-Based Nanocolumn Optical Devices2021

    • 著者名/発表者名
      K. Kishino
    • 学会等名
      26th Microoptics Conference (MOC2021)
    • 国際学会 / 招待講演
  • [学会発表] InGaN/GaN系ナノコラム発光デバイス2021

    • 著者名/発表者名
      岸野 克巳
    • 学会等名
      一般社団法人ワイドギャップ半導体学会設立記念シンポジウム
    • 招待講演
  • [学会発表] InGaNナノコラムプラズモニック結晶の構造設計と赤色発光の高効率化2021

    • 著者名/発表者名
      大音 隆男、 岡本 晃一、富樫 理恵、岸野 克巳
    • 学会等名
      ワイドギャップ半導体学会第4回研究会
    • 招待講演
  • [学会発表] InGaNナノコラムプラズモニック結晶の構造設計と赤色発光の高効率化2021

    • 著者名/発表者名
      大音 隆男、 岡本 晃一、富樫 理恵、岸野 克巳
    • 学会等名
      第2回半導体ナノフォトニクス研究会
  • [学会発表] InGaN/GaN規則配列ナノコラムにおける 発光色制御メカニズムの解析2021

    • 著者名/発表者名
      髙橋 昂司、滝本 啓司、 野村 一郎、岸野 克巳
    • 学会等名
      第2回半導体ナノフォトニクス研究会
  • [学会発表] nGaN系ナノコラムの形状制御とその発光特性2021

    • 著者名/発表者名
      山田 純平、本田 達也、水野 愛 、富樫 理恵、野村 一郎、岸野 克巳
    • 学会等名
      第2回半導体ナノフォトニクス研究会
  • [学会発表] ナノコラムのクラスタ配列化による発光強度増大と偏光制御2021

    • 著者名/発表者名
      宮崎 聡太郎、浅井 佑太、松井 祐三、富樫 理恵、岸野 克巳、大音 隆男
    • 学会等名
      応用物理学会東北支部第76回学術講演会
  • [学会発表] Agプラズモニック結晶の導入がInGaN系ナノコラムアレイのバンド構造に与える影響2021

    • 著者名/発表者名
      早川将太朗、岡本晃一、富樫理恵、岸野克巳、大音隆男
    • 学会等名
      第82回応用物理学会秋季学術講演会
  • [学会発表] InGaN ナノコラムアレイにおいてコラムの分割が発光特性に与える影響2021

    • 著者名/発表者名
      宮崎聡太郎、浅井佑太、松井祐三、富樫理恵、岸野克巳、大音隆男
    • 学会等名
      第82回応用物理学会秋季学術講演会
  • [学会発表] RF-MBE 法によるGaInN/GaInN 多重量子井戸成長と評価2021

    • 著者名/発表者名
      田原開悟、山田純平、山口智広、名西やすし、尾沼猛儀、本田徹、岸野克巳
    • 学会等名
      第82回応用物理学会秋季学術講演会
  • [学会発表] ハニカム配列GaInN/GaN ナノコラムLED の製作プロセス2021

    • 著者名/発表者名
      上野 彰大、今村 暁、山田 純平、本田 達也、大音 隆男、山口 智広、冨樫 理恵、野村 一郎、本田 徹、岸野克巳
    • 学会等名
      第82回応用物理学会秋季学術講演会
  • [学会発表] (0001)および(10-11)面InGaN/GaNナノコラム上InGaN/AlGaN MQWsの発光特性2021

    • 著者名/発表者名
      山田純平、本田達也、水野愛、富樫理恵、野村一郎、山口智広、本田徹、岸野克巳
    • 学会等名
      第82回応用物理学会秋季学術講演会
  • [学会発表] 下地コラムトップ角度によるInGaN/GaN ナノコラムの発光スペクトル制御2021

    • 著者名/発表者名
      吉村賢哉、高橋昂司、 滝本啓司、本田達也、山田純平、富樫理恵、野村一郎、岸野克巳
    • 学会等名
      第82回応用物理学会秋季学術講演会
  • [学会発表] 高充填率InGaN/GaN規則配列ナノコラムの発光色制御2021

    • 著者名/発表者名
      髙橋昂司、滝本啓司、吉村賢哉、山田純平、本田達也、冨樫理恵、野村一郎、岸野克巳
    • 学会等名
      第82回応用物理学会秋季学術講演会

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公開日: 2022-12-28  

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