| 研究課題/領域番号 |
19H02040
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| 研究種目 |
基盤研究(B)
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| 配分区分 | 補助金 |
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| 応募区分 | 一般 |
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| 審査区分 |
小区分18020:加工学および生産工学関連
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| 研究機関 | 名古屋大学 |
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研究代表者 |
秦 誠一 名古屋大学, 工学研究科, 教授 (50293056)
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| 研究分担者 |
櫻井 淳平 名古屋大学, 工学研究科, 准教授 (40345385)
岡 智絵美 名古屋大学, 工学研究科, 助教 (70823285)
山崎 貴大 名古屋大学, 工学研究科, 学振特別研究員(PD) (40847240)
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| 研究期間 (年度) |
2019-04-01 – 2023-03-31
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| キーワード | 内部応力 / 薄膜 / コンビナトリアル技術 / アニール / 薄膜金属ガラス |
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| 研究成果の概要 |
本研究の目的は，コンビナトリアル技術を用いた薄膜金属ガラスの内部応力の調査，薄膜金属ガラスの成膜条件と内部応力の関係解明と，その実証として直径400 nmから800 umのダイアフラム構造を製作し，内部応力を±200 MPaの範囲での制御である．具体的には，差動排気コンビナトリアル新対向ターゲットスパッタ装置の開発や，内部応力評価用薄膜ライブラリの作製，アニール条件と内部応力の関係の解明などを行った．研究成果としては，新たな内部応力測定法の開発に成功し，Ru系およびNi系薄膜金属ガラスの内部応力とアニール条件の関係の解明と，内部応力を自在に制御したダイアフラム構造の製作に成功した．
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| 自由記述の分野 |
機械工学
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| 研究成果の学術的意義や社会的意義 |
MEMS構造の一部は基板から分離しており，材料内の応力により形状が変わり破壊されることがある．Si系材料は成膜条件等により内部応力を制御できるが，小型化や高機能化には限界があるため，代替材料が求められている．この状況に着目し，薄膜金属ガラスを利用したMEMS構造と内部応力制御を実現した．近年，薄膜金属ガラスをMEMSに適用する事例が増えてきたため，内部応力を解明し制御する必要性が浮かび上がってきた．この研究では，薄膜金属ガラスの内部応力を体系的かつ効率的に解明し，制御可能かを明らかにするために行われた．
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