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研磨砥粒などに利用されるナノ粒子の粒度分布評価は，ナノ粒子の品質管理の観点で重要な技術であるが，ナノ粒子の観察やハンドリングの困難さがあり，その粒径計測結果の信頼性については 様々な議論が行われている．研究代表者は，砥粒ナノ粒子に用いられる粒径20nmから500nmの粒子について，測定データの信頼性を確保するため，粒子個数ベースの粒度分布(幾何学径)を計測する方法として，ナノ粒子チップを用いた粒度分布評価技術を提案し，多峰性の分布を持つナノ粒子の粒度分布の測定を行った．また，溶媒中のナノ粒子の粒度分布の拡散運動を詳細に解析するためのナノ粒子の回転拡散係数および並進拡散係数の一括計測システムを計測し，ナノ粒子の拡散係数計測によるナノ粒子の粒度分布計測を行う際に，誤差要因となりうる溶媒のナノ粒子の拡散運動に対する粘性抵抗係数を正確に評価する方法を提案し，提案手法の妥当性について実験的な検証を行った
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