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2020 年度 実績報告書

構造傾斜領域の創出によるリラクサー薄膜のドメインエンジニアリング

研究課題

研究課題/領域番号 19H02421
研究機関東北大学

研究代表者

木口 賢紀  東北大学, 金属材料研究所, 准教授 (70311660)

研究分担者 白石 貴久  東北大学, 金属材料研究所, 助教 (50758399)
山田 智明  名古屋大学, 工学研究科, 准教授 (80509349)
今野 豊彦  東北大学, 金属材料研究所, 教授 (90260447)
研究期間 (年度) 2019-04-01 – 2022-03-31
キーワードPMN-PT / PZT / 薄膜 / 組成相境界 / 90 °ドメイン / 熱応力 / ミスフィット転位 / ヘテロ界面
研究実績の概要

化学溶液堆積(CSD)法を利用した(1-x)Pb(Mg1/3Nb2/3)O3-xPbTiO3(PMN-xPT)(x=0.8)薄膜や同じく相境界を示す強誘電体であるPbZrxTi1-xO3(PZT)(x=0.7)のSrTiO3(001)基板上への固相エピタキシーによる薄膜成長メカニズム、ならびに組成相境界における2相共存組織やドメイン構造形成のメカニズムについて、STEM-EELS法により調べた。
固相エピタキシーによるPZTのエピタキシャル成長では、有機金属錯体を熱分解した非晶質前駆体の段階で既にペロブスカイト型構造の基礎となる短距離秩序が形成されること、基板界面に核生成サイトとして作用しうる整合的に歪んだ界面層がPseudomorphicに成長することを見出し、CSD法における固相エピタキシーにおける核生成・成長メカニズムを原子レベルで明らかにした。
また、結晶化に伴って残留炭素が減少しながら大きく体積収縮し、緻密化しながらエピタキシャル成長すること、そして結晶化によりミスフィット転位が導入されて整合歪みの緩和が起こり整合界面から半整合界面に変化する、つまり気相法におけるStranski-Krastanov成長モードのような構造変化が起きることが明らかになった。
結晶化後の薄膜の組織については、薄膜の基板側が正方晶相が安定化され、90°ドメインはミスフィット転位を核生成サイトとして形成されることが明らかになった。一方、薄膜の表面側では菱面体晶相が形成され、2層構造からなる組成相境界組織となった。
同様の結果がPMN-PT薄膜においても観察され、組成相境界を持つペロブスカイト型強誘電体において共通する現象であると考えられる。

現在までの達成度 (区分)
現在までの達成度 (区分)

2: おおむね順調に進展している

理由

感染症の蔓延に伴う緊急事態宣言などによって4ヶ月以上にわたり研究の遂行が困難となったため、当初予定通りには進まなかったが、最終的に研究計画において予想以上の進捗があったため。

今後の研究の推進方策

令和3年度は、初年度および2年度に明らかにしたPMN-PT薄膜に着目し、組成相境界近傍でのTi組成変調と基板種による格子定数の変化から格子ミスマッチの影響と、薄膜と基板の熱的ミスマッチに由来する影響とを分離して、組織形成におよぼす基板の弾性的拘束のメカニズムを詳細に調べる。これらの研究によって、ナノドメインの核生成サイトとしてのミスフィット転位の役割や熱応力による相安定性の制御と組成相境界の制御指針を明らかにする。具体的には以下の実験を行う。
(1) 種々の基板上へのPMN-PT薄膜の成膜:SrTiO3 (001)、LSAT(001)、KTaO3(001)単結晶基板上にペロブスカイト相単相を化学溶液堆積(CSD)法でエピタキシャル成長を試みる。
(2)格子ミスマッチが組織形成に及ぼす影響:収差補正STEMおよび電子エネルギー損失分光(EELS)法により薄膜断面構造を調べ、ナノドメインの核生成サイトとしてのミスフィット転位の役割を明らかにする。
(3)熱的ミスマッチが組織形成に及ぼす影響:収差補正STEMおよびEELS法により薄膜断面構造を調べ、熱応力による相安定性の制御と組成相境界の制御指針を明らかにする。
(4) 2次元弾性場の下での相転移挙動の解明:(1)で作成したのPMN-PT薄膜について、2次元弾性場の下での相転移挙動を検証するため、高温その場X線逆空間マッピング法により種々の基板上に成長した種々の組成のPMN-PT薄膜の構造相転移挙動の温度依存性を調べる。

  • 研究成果

    (15件)

すべて 2021 2020

すべて 雑誌論文 (4件) (うち査読あり 4件、 オープンアクセス 2件) 学会発表 (10件) (うち国際学会 1件、 招待講演 1件) 図書 (1件)

  • [雑誌論文] Epitaxial growth mechanism of Pb(Zr,Ti)O3 thin films on SrTiO3 by chemical solution deposition via self-organized seed layer2020

    • 著者名/発表者名
      KIGUCHI Takanori、SHIMIZU Takumi、SHIRAISHI Takahisa、KONNO Toyohiko J.
    • 雑誌名

      Journal of the Ceramic Society of Japan

      巻: 128 ページ: 501~511

    • DOI

      10.2109/jcersj2.20027

    • 査読あり / オープンアクセス
  • [雑誌論文] Interface reaction between PbTiO<sub>3</sub> epitaxial thin films and La-doped SrTiO<sub>3</sub> (001) substrates through edge dislocations induced by 90° domain formation2020

    • 著者名/発表者名
      SHIMIZU Takumi、KIGUCHI Takanori、SHIRAISHI Takahisa、KONNO Toyohiko J.
    • 雑誌名

      Journal of the Ceramic Society of Japan

      巻: 128 ページ: 492~500

    • DOI

      10.2109/jcersj2.20028

    • 査読あり / オープンアクセス
  • [雑誌論文] Enhanced intrinsic piezoelectric response in (001)-epitaxial single c-domain Pb(Zr,Ti)O3 nanorods2020

    • 著者名/発表者名
      Okamoto Kazuki、Yamada Tomoaki、Nakamura Kentaro、Takana Hidenori、Sakata Osami、Phillips Mick、Kiguchi Takanori、Yoshino Masahito、Funakubo Hiroshi、Nagasaki Takanori
    • 雑誌名

      Applied Physics Letters

      巻: 117 ページ: 042905~042905

    • DOI

      10.1063/5.0012998

    • 査読あり
  • [雑誌論文] Energy storage properties of epitaxially grown xCaZrO3-(1-x)NaNbO3 thin films prepared with chemical solution deposition method2020

    • 著者名/発表者名
      Shiraishi T.、Suzuki S.、Kiguchi T.、Konno T. J.
    • 雑誌名

      Journal of Applied Physics

      巻: 128 ページ: 044102~044102

    • DOI

      10.1063/5.0004239

    • 査読あり
  • [学会発表] 先端電子顕微鏡法を用いた強誘電体薄膜の材料組織解析2021

    • 著者名/発表者名
      木口賢紀
    • 学会等名
      日本セラミックス協会 2021年年会
    • 招待講演
  • [学会発表] STEM-EELS法によるCSD法によるPb(Zr,Ti)O3エピタキシャル成長メカニズムの解明2021

    • 著者名/発表者名
      木口賢紀, 粟飯原雅矢, 渋谷直生, 白石貴久, 今野豊彦
    • 学会等名
      第68回応用物理学会春季学術講演会
  • [学会発表] Core structure of threading dislocations in GaN2021

    • 著者名/発表者名
      Takanori Kiguchi, Yumiko Kodama, Yuichiro Hayasaka, Tomoyuki Tanikawa, Toyohiko J. Konno
    • 学会等名
      The 8th Asian Conference on Crystal Growthand Crystal Technology(CGCT-8)
    • 国際学会
  • [学会発表] CSD法により堆積したPZT薄膜のエピタキシャル成長における前駆体の構造2020

    • 著者名/発表者名
      木口賢紀, 粟飯原雅矢, 渋谷直生, 白石貴久, 今野豊彦
    • 学会等名
      MRM Forum 2020
  • [学会発表] CSD法により堆積したPZT薄膜前駆状態の解析2020

    • 著者名/発表者名
      木口賢紀, 粟飯原雅矢, 白石貴久, 今野豊彦
    • 学会等名
      日本セラミックス協会電子材料部会第40回電子材料研究討論会
  • [学会発表] Pb(Zr0.4Ti0.6)O3/Pb(Zr0.6Ti0.4)O3人工超格子膜の分極回転がもたらす圧電応答の増大2020

    • 著者名/発表者名
      宋俊東, 山田智明, 海老原洋平, 坂田修, 木口賢紀, 吉野正人, 長崎正雅
    • 学会等名
      日本セラミックス協会電子材料部会第40回電子材料研究討論会
  • [学会発表] 基板がPMN-PTエピタキシャル薄膜の結晶構造 に及ぼす影響2020

    • 著者名/発表者名
      粟飯原 雅矢, 木口 賢紀, 白石 貴久, 今野 豊彦
    • 学会等名
      日本顕微鏡学会第76回学術講演会
  • [学会発表] 化学溶液堆積法によるPZT薄膜エピタキシャル成長における前駆状態の解析2020

    • 著者名/発表者名
      木口賢紀, 清水匠, 粟飯原雅矢, 白石貴久, 今野豊彦
    • 学会等名
      日本顕微鏡学会第76回学術講演会
  • [学会発表] PMN-PT エピタキシャル薄膜の結晶構造に及ぼす基板種の影響2020

    • 著者名/発表者名
      粟飯原雅矢, 木口賢紀, 今野豊彦
    • 学会等名
      令和2年度 第19回 日本金属学会東北支部研究発表大会
  • [学会発表] PMN-PT エピタキシャル薄膜の結晶構造に及ぼす基板種の影響2020

    • 著者名/発表者名
      粟飯原雅矢,木口賢紀,今野豊彦
    • 学会等名
      第139 回 金属材料研究所講演会
  • [図書] エレクトロニクス用セラミックスの応用、開発と評価手法, 第12章 セラミックスの特性評価手法、状態観察手法、第4節 電子セラミックスの微細組織,組成,電子状態の評価2020

    • 著者名/発表者名
      木口賢紀(共著)
    • 総ページ数
      503-526
    • 出版者
      技術情報協会
    • ISBN
      978-4-86104-798-5

URL: 

公開日: 2021-12-27  

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