| 研究課題/領域番号 |
19H02625
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| 研究機関 | 静岡大学 |
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研究代表者 |
小野 篤史 静岡大学, 電子工学研究所, 准教授 (20435639)
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| 研究分担者 |
石飛 秀和 大阪大学, 生命機能研究科, 准教授 (20372633)
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| 研究期間 (年度) |
2019-04-01 – 2022-03-31
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| キーワード | レーザープロセシング / 光還元 |
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| 研究実績の概要 |
レーザー集光照射内の微視領域における光還元反応に伴う金属析出過程の原理解明を目的とし，本年度は，照射偏光および照射パターンの制御光学系の構築，基材試料であるポリマーの光励起時の分子挙動モデルの構築，光励起状態の試料内の電子密度分布の解析に取り組んだ．
任意方位の直線偏光，円偏光，ラジアル偏光，アジマス偏光および，スポット照射，ラインスキャン照射によるレーザー描画光学系を構築した．ポリマー分子と金属イオンとの光励起による電子の授受における分子状態のモデルを仮定し，レーザー照射による析出金属形状との関連について考察した．電磁場解析シミュレーションにより試料内の電子密度分布を計算し，現在計算結果の解析に取り組んでいる．
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| 現在までの達成度 (区分) |
現在までの達成度 (区分)
2: おおむね順調に進展している
理由
計画通り偏光および照射パターン制御光学系を構築し，解析についても順調に進展しているため．
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| 今後の研究の推進方策 |
構築した偏光および照射パターン制御光学系を用いてレーザー光還元法による超微細金属パターニングを行う．引き続き，ポリマー分子挙動の解析および電子密度分布の解析に取り組む．さらに，金属パターニングの超微細化および本技術の展開のため，新材料についても検討する．
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