| 研究課題/領域番号 |
19H02743
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| 研究機関 | 東京大学 |
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研究代表者 |
尾張 真則 東京大学, 環境安全研究センター, 教授 (70160950)
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| 研究期間 (年度) |
2019-04-01 – 2022-03-31
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| キーワード | 二次イオン質量分析法 / 三次元分析 |
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| 研究実績の概要 |
【改良二次イオン光学系の基本設計】前年度設計した二次イオン光学系には真空排気への考慮の不足、部品製作の困難性、組み立ての困難性などの問題点が発覚したため、新たに改良二次イオン光学系を設計した。設計にあたっては、結像特性の劣化を防ぐための二次イオン引出部の軸対称性、二次イオン放出角度分布の非対称性を補償するための二次イオン飛行軸補正、質量分析機能を支配する質量分散面内と断面縦方向拡大投影機能を支配する鉛直結像面内それぞれの独立した収束特性などを考慮した。
【イオン光学シミュレーションによるパラメータ最適化】基本設計に基づき、光学要素の幾何学的形状ならびにレンズ強度を決定する静電的パラメータの最適値を求めた。これに基づきイオン光学電極部品ならびに制御電源を設計した。シミュレーションにより、部品加工誤差と組立て誤差、印加電圧の必要精度を明らかにし、これらを満たすような仕様で、機械加工については外注により、電源については自作により製作した。
【試作二次イオン光学系の動作確認】試作した二次イオン光学系を一次イオンビーム照射装置に取り付け、実際に一次イオンを照射して二次イオン光学系による二次イオンの観察を試みた。取り付けにおいては既存の収束イオンビームとの精密な位置調整を行い、Shave-off条件で試料に一次イオンビームを照射することに成功した。発生した二次イオンが輸送光学系出口まではほぼ設計通り二次イオンが飛行することが確認でき、質量分析器に適切に入射させることができることがわかった。
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| 現在までの達成度 (区分) |
現在までの達成度 (区分)
2: おおむね順調に進展している
理由
2019年度中に、二次イオン光学系設計にとって重要な二次イオン放出に関する主要なパラメータを取得できている。2020年度はこれに基づき、二次イオンを質量分析器にまで導きつつ質量分析器の検出位置に試料断面の鉛直方向の拡大像を結像するための二次イオン光学系を設計し、質量分析器の入り口までは計画通りにイオンを輸送できることを確認した。質量分析器そのものは技術的に確立しているMattauch-Herzog型二重収束質量分析器であるため、今年度までに試作した二次イオン光学系を質量分析器に接続することで、当初目的とした三次元Shave-off分析を実現できる段階に達したと考えられる。
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| 今後の研究の推進方策 |
研究代表者の科研費応募資格喪失に伴い、2020年度までで科研費による研究を終了する。
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