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昨年度までに超高圧電子顕微鏡（HVEM）の導入期である1960年代までにおける500～1000kV級のHVEMの開発とその応用について調べたので、本年度はそれに続く展開期を調べた。加速電圧1000kVのHVEMは商用機として普及していった。また、3000kVのHVEMが1971年に阪大と日立によって阪大で完成している。HVEMは国内では1976年までに、北大、東北大、日本原子力研究所、無機材質研究所、新日本製鐵、東大、名大、京大、阪大、九大に設置された。1970年代後半には世界中で加速電圧が500kV以上の装置が55機を超えて稼働した。
HVEM用に種々の電顕内試料処理装置が製作され、TV-VTR観察記録システムの稼働も相まって、名大の井村徹や阪大の藤田広志らのグルプを中心に、電子顕微鏡内その場観察実験が精力的に行われていった。
HVEMならではの現象発見が1967年に日立中研で永田文男と福原明によって、名大で上田良二と渡辺伝次郎によって、それぞれ独立して発見されてた。それは、電子と物質との動力学的相互作用によって生じる二次反射消滅効果（後に臨界電圧効果とよばれる）である。この効果を利用することによって、原子散乱因子の精密測定ができることを上田が指摘し、渡辺らは鉄などの金属について極めて正確な測定値を得ている。
HVEMは短い波長の電子線をつくれるので、高分解能観察が可能になることが期待された。1960年代後半からは高分解観察のチャンピオンデータはHVEMで得られるようになった。高分解観察の分野では、京大化研、東北大、無機材質研、東大などが多くの成果を次々に発表していった。
HTEMでは高エネルギーの電子線照射によって生じる照射損傷に関する研究が精力的に行われた。格子欠陥集合体の発生や集合の温度依存性から点欠陥の移動度が桐谷道雄によって定量的に求められている。
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