| 研究課題/領域番号 |
19K01909
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| 研究機関 | 学習院大学 |
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研究代表者 |
柴田 友厚 学習院大学, 国際社会科学部, 教授 (10380205)
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| 研究期間 (年度) |
2019-04-01 – 2025-03-31
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| キーワード | 半導体露光装置 / モジュール戦略 / ASML / モジュール化 |
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| 研究実績の概要 |
本研究は、モジュラー型製品開発プロセスについて明らかにしようとするものである。本年度は、昨年度後半から取り掛かった半導体露光装置産業の分析に本格的に着手した。
露光装置は半導体を生産するのにコアとなる製造装置であり、要求される精密度から史上最も精密な機械と称される。高度な精密性が要求されるために、すり合わせが不可欠と考えられ、すり合わせ型製品の代表であり、モジュール戦略とは最も相性が悪い製品特性を持つと考えられてきた。
しかし、９０年代半ば以降、モジュラー戦略を採用したオランダのASMLが急速に台頭し、日本のニコン、キャノンを引き離していった。今日、先端半導体の生産に不可欠なEUV（13.5nmの波長をもつ極端紫外線）を光源とするEUV露光装置の生産は、ASMLの独占供給状態になっている。ニコンとキャノンは、EUV露光装置の開発からは撤退した。
ASMLはどのような経緯で、そしていかにして、モジュラー戦略を利用して露光装置市場で圧倒的な競争力を占めるようになったのか。モジュラー戦略は半導体露光装置という極めて精密な製品でも有効なのか。本年度は、そのような問いをたてて、ASMLに焦点をあて、適宜ニコンやキャノンと比較しながら、その技術戦略と製品戦略を明らかにすることに取り組んだ。
まず公刊資料や論文の分析、特許データの分析を行った。さらにASMLJapanとニコンを訪問し、半導体技術の特性、産業の現況、当時の状況などのインタビューを行った。それらの分析の上で、オランダのアムステルダム大学と共著論文の執筆に着手した。
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| 現在までの達成度 (区分) |
現在までの達成度 (区分)
2: おおむね順調に進展している
理由
昨年までは遅れ気味だったが、新型コロナの５類への移行に伴い、出張（国内、海外ともに）が自由にできるようになったことで、これまでの遅れを挽回しつつある。
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| 今後の研究の推進方策 |
最終年度であるために、ASMLのモジュラー戦略に焦点をあてた分析をさらに進め、海外の大学（アムステルダム大学）との共著論文を完成させる。
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| 次年度使用額が生じた理由 |
コロナ等の影響の余波で、海外調査を行うのに必要な海外出張が十分にできなかった。海外調査を行うことで、挽回できる見込みである。
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