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2021 年度 実績報告書

スモラッコウスキー効果によるネオリングホロー磁化放電の確立と負イオン生成

研究課題

研究課題/領域番号 19K03784
研究機関佐賀大学

研究代表者

大津 康徳  佐賀大学, 理工学部, 教授 (50233169)

研究期間 (年度) 2019-04-01 – 2022-03-31
キーワードネオリングホロー磁化放電 / スモラッコウスキー効果 / 2次電子放出係数 / PIC-MCC法
研究実績の概要

核融合プラズマを加熱電流駆動する中性粒子ビーム装置では、低気圧かつ高密度プラズマを有する高出力の負イオン源が必要とされている。そのプラズマ生成方式には、誘導結合型放電方式と熱陰極を用いた直流アーク放電方式があり、精力的に研究が行われている。しかしながら、いくつかの課題が残されている。本研究では、それらの課題を解決し、新方式のプラズマ発生方式を創成するために、これまでの研究成果で見出したリングホロー磁化放電方式に、スモラッコウスキー効果を混成させることにより、ネオリングホロー磁化放電を確立し、負イオン生成を実現させることを目的とする。
2021年度では、高純度アルミニウムをターゲットとしてスパッタ法により、ホロー溝内へ結晶性の高いアルミニウム薄膜合成を行う予定であったが、新型コロナウィルス拡大の影響を受けて、純度の高いアルミニウムの入手が困難となった。そこで、Particle in Cell(粒子法)を用いて、ダブルリングホロー磁化放電による水素プラズマの数値シミュレーションを実施し、プラズマ分布を検討した。スモラッコウスキー効果を2次電子放出係数の増加と仮定し、計算を実施した。その結果、数10Pa以上の圧力では、ダブルリングホロ―溝の位置が高密度となるダブルピークを持つプラズマ分布が得られた。一方、数Pa程度以下の圧力では、外側のリングホロ―溝内では高密度を維持し、内側のリングホロー溝では、殆どプラズマ維持ができないことがわかった。即ち、シングルピークを持つプラズマ分布が得られた。2次電子放出係数を通常の10倍以上の値0.1程度に設定したが、内側リングホロー溝ではプラズマ維持が困難であることがわかった。低圧力では、スモラッコウスキー効果が期待できるホロ―溝サイズがあることが明らかとなった。

  • 研究成果

    (11件)

すべて 2022 2021 その他

すべて 国際共同研究 (2件) 雑誌論文 (3件) (うち国際共著 2件、 査読あり 3件) 学会発表 (5件) (うち国際学会 1件) 備考 (1件)

  • [国際共同研究] Ruhr-University Bochum(ドイツ)

    • 国名
      ドイツ
    • 外国機関名
      Ruhr-University Bochum
  • [国際共同研究] ジョッショル理工科大学/Comilla University(バングラデシュ)

    • 国名
      バングラデシュ
    • 外国機関名
      ジョッショル理工科大学/Comilla University
  • [雑誌論文] Properties of AZO thin films prepared by stationary and rotating RF magnetized plasma sputtering source2022

    • 著者名/発表者名
      Hossain Md. Amzad、Patwary Md Abdul Majed、Rahman Md. Mustafizur、Ohtsu Yasunori
    • 雑誌名

      AIP Advances

      巻: 12 ページ: 015224~015224

    • DOI

      10.1063/5.0064434

    • 査読あり / 国際共著
  • [雑誌論文] Characteristics of a radio frequency magnetized double-ring-shaped hollow cathode plasma source with permanent magnets for high-density hydrogen plasma generation2021

    • 著者名/発表者名
      Ohtsu Yasunori、Imoto Shoma、Takemura Shunya、Schulze Julian
    • 雑誌名

      Vacuum

      巻: 193 ページ: 110531~110531

    • DOI

      10.1016/j.vacuum.2021.110531

    • 査読あり / 国際共著
  • [雑誌論文] Preparation of Water-Repellent Film on a Plastic Plate by Unbalanced Radio-Frequency Magnetron Plasma Sputtering Using PTFE Target for a Next-Generation Automobile Window2021

    • 著者名/発表者名
      Ohtsu Yasunori、Ino Yuta、Fujio Yuki、Tabaru Tatsuo、Yasunaga Takeshi、Ikegami Yasuyuki
    • 雑誌名

      Plasma Chemistry and Plasma Processing

      巻: 41 ページ: 1631~1646

    • DOI

      10.1007/s11090-021-10204-4

    • 査読あり
  • [学会発表] 円筒対向ターゲットスパッタのための高周波リング状ホロー磁化プラズマの生成2021

    • 著者名/発表者名
      井本将真、大津康徳
    • 学会等名
      第82回応用物理学会秋季学術講演会
  • [学会発表] ターゲット有効利用のための磁石回転型マグネトロンスパッタ装置の開発2021

    • 著者名/発表者名
      安田洸也、大津康徳
    • 学会等名
      第82回応用物理学会秋季学術講演会
  • [学会発表] Spatial profile of Al-ZnO thin film on polycarbonate deposited by ring-shaped magnetized rf plasma sputtering with two facing cylindrical Al2O3-ZnO targets2021

    • 著者名/発表者名
      Y.Ohtsu, G. Sakata, J. Schulze, T. Yasunaga and Y. Ikegami
    • 学会等名
      42th International Symposium on Dry Process
    • 国際学会
  • [学会発表] 対向円筒型 AZO ターゲットを用いた高周波リング状ホロー磁化プラズマの空間分布2021

    • 著者名/発表者名
      井本将真 , 原光佑, 大津康徳
    • 学会等名
      プラズマ・核融合学会 九州・沖縄・山口支部 第 25 回 支部大会
  • [学会発表] 小型マグネトロンプラズマを組み合わせた回転型アレー状高周波マグネトロンスパッタプラズマの開発2021

    • 著者名/発表者名
      安田洸也, 大津康徳
    • 学会等名
      プラズマ・核融合学会 九州・沖縄・山口支部第 25 回 支部大会
  • [備考] プラズマエレクトロニクス研究室

    • URL

      http://www.ee.saga-u.ac.jp/plasma/index.html

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公開日: 2022-12-28  

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