| 研究課題/領域番号 |
19K03815
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| 研究種目 |
基盤研究(C)
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| 配分区分 | 基金 |
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| 応募区分 | 一般 |
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| 審査区分 |
小区分14030:プラズマ応用科学関連
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| 研究機関 | 甲南大学 |
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研究代表者 |
梅津 郁朗 甲南大学, 理工学部, 教授 (30203582)
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| 研究分担者 |
吉田 岳人 阿南工業高等専門学校, 創造技術工学科, 教授 (20370033)
福岡 寛 奈良工業高等専門学校, 機械工学科, 准教授 (40582648)
青木 珠緒 (松本珠緒) 甲南大学, 理工学部, 教授 (80283034)
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| 研究期間 (年度) |
2019-04-01 – 2023-03-31
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| キーワード | レーザーアブレーション / 衝撃波 / プルーム / ナノ粒子 / 複合ナノ粒子 / プラズマ衝突 |
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| 研究成果の概要 |
本研究では2つのターゲット(SiとGe)をレーザーアブレーションし、対向して進展する2つのプルームを正面衝突させることによって、プルームの進展過程の観察と、複合ナノ粒子の形成をおこなった。バックグラウンドガス圧力が2000 Pa以上では対向衝撃波の影響でプルームは混合せず、堆積物はSiナノ粒子凝集体とGeナノ粒子凝集体が結合したものであった。500 Pa以下では、2つのプルームは衝突後混合し、その後、対向衝撃波によって形成された流れによって広がった。その結果、堆積物は混晶ナノ粒子であった。以上のようにプルーム衝突過程に対する対向衝撃波の効果と堆積物の複合構造の相関を明らかにした。
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| 自由記述の分野 |
半導体材料
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| 研究成果の学術的意義や社会的意義 |
これまでに、２つのレーザー誘起プラズマの衝突に関する研究はあったが、その混合過程に関しての明快な実験結果は存在しなかった。本研究では２種類のターゲットを用い、プラズマを分光することによって混合過程を明らかにした。その結果、対向して進展する衝撃波の影響が混合過程に大きく影響し、衝撃波の制御がナノ粒子集合体の構造に重要であることを示した。
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