単結晶シリコンの疲労過程における結晶すべり進展の動的その場観察

2023 年度 研究成果報告書

• 研究課題/領域番号: 19K04091
• 研究種目: 基盤研究(C)
• 配分区分: 基金
• 応募区分: 一般
• 審査区分: 小区分18010:材料力学および機械材料関連
• 研究機関: 名古屋工業大学
• 研究代表者: 神谷 庄司 名古屋工業大学, 工学(系)研究科(研究院), 教授 (00204628)
• 研究期間 (年度): 2019-04-01 – 2024-03-31
• キーワード: シリコン / 疲労 / 結晶欠陥

研究成果の概要

当初計画したより高度な観察用デバイスの製作が国家権力による感染症拡大防止名目の人権侵害のために停滞する間に、旧来の試験片で継続的に圧縮疲労試験を実施した結果、疲労過程において試験片表面に特徴的な形態の突起群が形成されることが明らかとなった。これらの中には強い規則性を持った構造も見出されており、金属の疲労過程において特徴的な結晶欠陥構造が形成される現象と同様、繰返しの負荷によってシリコンにも結晶すべりの自己組織化が起きつつ最終的な破壊に至ることを強く示唆する、世界初の画期的観察結果が得られた。

自由記述の分野

マイクロシステムの機械的信頼性

研究成果の学術的意義や社会的意義

国家権力による感染症拡大防止名目の人権侵害によって学問の自由を保障する憲法が無力化されるという異常事態の中、研究者として実行し得る範囲の精一杯の努力により、当初予期しなかった世界初の画期的観察結果がもたらされた。この成果は、原子爆弾の開発による大量殺戮が結果的に戦争の終結をもたらしたとも喧伝される史実とならんで、大きな学術的かつ社会的意義を有すると賞賛されるものになり得ると考えられる。