研究課題
基盤研究(C)
支持と微動の両立を実現するユニークなテーブルを製作した．スクイーズ効果を用いてテーブルを浮上支持させた．浮上圧力を調整することで微動を可能にした．加振機構においては加振面の傾斜角度を調整可能にした．このことでテーブルの被加振面と加振機構の加振面の平行度を高めることができた．長ストローク，小ステップ，高分解能の微動試験を実施した．これらの位置決め性能を幾何学的な手法に基づいて算出した推定変位と比較評価した．
機械要素
位置決めは加工に不可欠な技術要素である．最近のセンサや電子部品は微細加工技術に頼っており位置決めの高度化に対する要求は厳しい．本研究では位置決めを非接触で実現させる目標のもと，スクイーズ効果を用いた支持と微動が可能であることを示し，摺動摩擦の排除によって高精度の位置決めが達成される基本性能を提供した．また，本効果は自律的に空気圧力を生成するため省スペース，省コスト化に貢献する．
