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研磨除去量を目標寸法に高精度かつ迅速に仕上げる新しい研磨技術を創出するため，電動アクチュエータの推力を利用した荷重制御システムを開発し，スラリーに電界を印加可能な研磨ヘッドを試作した．このときの研磨特性を評価した結果以下の結論を得た．（１）電動アクチュエータを利用した新しい荷重制御方式により研磨除去量のばらつきを1/4に低減することができた（２）研磨圧力と研磨除去量が線形関係となることから，目標とする研磨量除去量を，研磨圧力で制御することが可能である（３）印加電圧4kVのとき無電界と比較し45％の研磨除去量向上が得られた．以上より，スモールツールによる電界修正研磨技術の基礎的な知見を得た．
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