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2021 年度 実績報告書

電解酸化水を用いた精密デバイス用金属の面粗度制御可能な表面粗化処理技術の開発

研究課題

研究課題/領域番号 19K04124
研究機関信州大学

研究代表者

佐藤 運海  信州大学, 学術研究院教育学系, 教授 (30345730)

研究期間 (年度) 2019-04-01 – 2022-03-31
キーワード電解酸化水 / 化学薬液 / 無酸素銅材 / ニッケル合金 / 表面改質処理 / エッチング / 粗化作用 / 溶存酸素濃度
研究実績の概要

超音波を照射するとき,薬液と比較してNa2SO4電解酸化水及びNaCl電解酸化水の特性変化を実験検討により解明した.その結果,超音波を照射すると,電解酸化水中の溶存酸素濃度が高くなる.それは電解酸化水中に存在している酸素ナノバブルが超音波の振動によって溶液に溶解したためです.溶存酸素濃度が高くなると,金属表面に対するエッチング作用も粗化作用も強くなる.
続いて,超音波振動の併用により,無酸素銅材,ニッケル合金である45パーマロイ材の研磨面に対する表面改質処理について実験検討を行った.その結果,H2SO4溶液と比べ,Na2SO4電解酸化水により処理した加熱処理後の無酸素銅材の研磨面に突起物の発生がなく,平滑度が高い.また,45パーマロイ材の研磨面では,NaCl電解酸化水およびNa2SO4電解酸化水は薬液と比べ,粗化作用が強く,研磨面に対して均一に粗化できる.
本研究によって,超音波振動を併用して,電解酸化水は無酸素銅材,ニッケル合金の表面改質処理に応用できる結果を得た.

  • 研究成果

    (7件)

すべて 2022 2021

すべて 雑誌論文 (2件) (うち査読あり 2件、 オープンアクセス 2件) 学会発表 (5件)

  • [雑誌論文] 45パーマロイ材の研磨面に及ぼすNaCl電解酸化水の影響2022

    • 著者名/発表者名
      佐藤運海 川久保英樹
    • 雑誌名

      精密工学会誌(掲載決定)

      巻: 88 ページ: xxx-xxx

    • 査読あり / オープンアクセス
  • [雑誌論文] 無酸素銅材の研磨面に及ぼすNa2SO4電解酸化水の影響2021

    • 著者名/発表者名
      佐藤運海 川久保英樹
    • 雑誌名

      精密工学会誌

      巻: 87 ページ: 772-778

    • DOI

      10.2493/jjspe.87.772

    • 査読あり / オープンアクセス
  • [学会発表] 45パーマロイ材の研磨面に及ぼすNaCl電解酸化水の粗化作用2022

    • 著者名/発表者名
      佐藤運海,川久保英樹
    • 学会等名
      2022年度精密工学会春季大会学術講演会論文集
  • [学会発表] 45パーマロイ材の圧延表面に及ぼすNaCl電解酸化水の粗化作用―超音波併用の効果―2021

    • 著者名/発表者名
      佐藤運海,川久保英樹
    • 学会等名
      2021年度砥粒加工学会学術講演会論文集
  • [学会発表] 加熱処理済みの無酸素銅材研磨に及ぼすNa2SO4電解酸化水の影響2021

    • 著者名/発表者名
      佐藤運海,川久保英樹
    • 学会等名
      2021年度精密工学会秋季大会学術講演会論文集
  • [学会発表] 純アルミニウムの表面に及ぼすNa2SO4電解還元水のエッチング作用-エッチングレートの実験検討-2021

    • 著者名/発表者名
      宮内智美,佐藤運海
    • 学会等名
      2021年度精密工学会北陸信越支部学術講演会講演論文集
  • [学会発表] リードフレーム用銅合金の表面に及ぼす電解酸化水のエッチング作用2021

    • 著者名/発表者名
      山本夏輝,佐藤運海
    • 学会等名
      2021年度精密工学会北陸信越支部学術講演会講演論文集

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公開日: 2022-12-28  

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