熱ほふく流によって作動するKnudsen pumpの性能を10Paの低圧条件で実験的に調べ,数値解析により熱ほふく流とポンプ性能の関係を調べた。またシステムをマイクロスケール領域に適用するための相似則について検討した.実験よりポンプ効率はKn=0.1の時に最大になり,最大効率を与える最適な素子間隔のあることが確認された。また数値計算により素子にポンプ作用のあることが確認された。Al-Ga-AsとGa-As-Siからなる半導体を常圧で作動するポンプに適用することを想定しミクロとミリスケールのシステムの数値解析を行い,Knudsen数と温度勾配を一致させると相似則が成り立つことを確認した.
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