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周波数・電圧・位相差を任意の値に変えることのできる駆動回路を開発した。この駆動回路は正弦波を発生させるDDSと高電圧オペレーショナルアンプから構成される。この回路により超音波モータの回転速度を制御する3つのパラメータ値を高速かつ任意に変えることが可能となった。
従来の制御手法においては、周波数を変えることにより超音波モータの回転速度を変化させていた。しかしながら、きわめて回転速度が遅い領域において、制御入力値が出力値に正しく反映されない特性がある。提案する可変周波数・電圧制御手法では、制御入力値に対して出力値が正しく反映されることが可能となった。これにより高精度の位置決め制御を実現できた。
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