研究課題
基盤研究(C)
走査電子顕微鏡（ＳＥＭ）では、観察に用いる電子ビームのエネルギーが低いため、相対的に用いる電子レンズの色収差が大きくなり、分解能を低下させる。この色収差を改善するための収差補正器の性能をシミュレーションにより検討を行い、より効果的な収差補正器の構成を探った。収差補正器のモデルとして新しいタイプの電磁多極子として対称線電流（ＳＹＬＣ）を発展させたものを用いた。
電子光学
電子顕微鏡の分解能を向上させる収差補正器の性能を高めるためには、その性能を表す収差係数（ボケの大小をあらわす指標）を効率的に求め、それらが小さくなるように収差補正器を構成する。微分代数という新しい数学的手法を用いたシミュレーションをSYLC収差補正器の計算およびプリズム光学系の計算に拡張し、特性を向上させた。走査電子顕微鏡の分解能の向上と必要な収差補正器のコスト低減が期待される。
