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スマート工場内におけるリアルタイムモニタリング応用を最終目標とした、ゾルゲル複合体法の分極条件最適化に関する研究を行いました。ゾルゲル複合体法により作製されたセンサは、工業界での実用化が期待されておりましたが、特性にばらつきがあることが課題であり、圧電性を獲得する分極時に問題があるのではと考えました。
まず効率的に分極できるゾルゲル相の開発を行いました。その結果、酸化チタンゾルゲル相によるゾルゲル複合体において分極温度が低下することが判明しました。次に分極雰囲気を窒素雰囲気下で行うことで、圧電特性および超音波特性が良好な値で安定し、d33中心値から10％以内という目標を達成しました。
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