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表面粗さ1nm以下の平滑性を高速で実現する超精密研磨加工技術にとって、研磨時の化学反応性すなわち化学研磨性の発現は不可欠である。本研究では、この化学研磨性を、研磨時に生じる電気的シグナルとして定量的に捉えることによって、化学研磨による水和生成速度を求めることを一つのチャレンジとして目指した。
その結果、超精密研磨加工技術に不可欠な化学研磨性と位置づけられる化学反応性は、酸化セリウム、コロイダルシリカ、さらに本研究を通じて新たに提案したファインバブルの研磨材によらず、剪断応力をトリガーとした電気化学反応であることを明らかにできた。
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