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2021 年度 実績報告書

ギャップ部近傍が単一金属ドメインで構成されたナノギャップ電極の作製

研究課題

研究課題/領域番号 19K05222
研究機関国立研究開発法人産業技術総合研究所

研究代表者

内藤 泰久  国立研究開発法人産業技術総合研究所, エレクトロニクス・製造領域, 研究グループ長 (10373408)

研究期間 (年度) 2019-04-01 – 2022-03-31
キーワードナノギャップ / エレクトロマイグレーション / 微細加工 / 金属 / 再構成
研究実績の概要

本研究では、2つの電極が数nmで向かい合ったいわゆるナノギャップ電極について、電極金属の結晶構造の改善について探求をおこなっている。②「トンネル電流制御による結晶改善の検証」及び、研究項目③「単結晶ナノ電極の基板面方位依存性の検証」について進展があった。
②については、前年度、ナノギャップ中に有機分子単体の架橋状態をエレクトロマイグレーションを介して実現できることが分かった。この時有機分子のサイズは極めて小さい為、当初予定していた手法とは異なっているが、本研究における最終目標である点で向かい合ったナノギャップの形成に大いに近づいた結果であり、今年度ではさらに、電圧の制御によって架橋/非架橋状態が連続して制御できることを示した。本研究については、学会発表論文にて成果を公表した。
③については、前年度において実現したMgO基板上のPtナノギャップ電極の形成について、結晶基板に依存して単結晶ナノギャップ電極が形成されるか検証を行った。その作製後の電子顕微鏡(TEM)分析から、基板とPt電極からなるモアレ縞構造が明確に観測されたこの結果は、Ptの電極形成に対して基板の影響を受けながら再構成が発生している強力な証拠となっており、当初の予定通り、エレクトロマイグレーションを用いたナノギャップ形成に基板の影響を取り入れることに成功した。本研究については、学会発表にて対外報告を行った。

  • 研究成果

    (2件)

すべて 2021

すべて 雑誌論文 (1件) (うち査読あり 1件) 学会発表 (1件)

  • [雑誌論文] Investigation of Molecular Bridging Using Atom Migration in Nanogap Electrodes2021

    • 著者名/発表者名
      NAITOH Yasuhisa、SUMIYA Touru、MISAWA Guento、SHIMA Hisashi、AKINAGA Hiroruki
    • 雑誌名

      Vacuum and Surface Science

      巻: 64 ページ: 406~410

    • DOI

      10.1380/vss.64.406

    • 査読あり
  • [学会発表] 結晶性PtナノギャップのMgO(100)基板結晶方位依存性2021

    • 著者名/発表者名
      乙津和希, 角谷透, 島久, 秋永広幸, 塚越一仁, 菅洋志, 内藤泰久
    • 学会等名
      第82回応用物理学会秋季学術講演会

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公開日: 2022-12-28  

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