| 研究課題/領域番号 |
19K05274
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| 研究種目 |
基盤研究(C)
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| 配分区分 | 基金 |
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| 応募区分 | 一般 |
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| 審査区分 |
小区分29020:薄膜および表面界面物性関連
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| 研究機関 | 大阪公立大学 (2022)
大阪府立大学 (2019-2021) |
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研究代表者 |
川田 博昭 大阪公立大学, 大学院工学研究科, 客員研究員 (90186099)
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| 研究期間 (年度) |
2019-04-01 – 2023-03-31
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| キーワード | ナノ貫通孔 / ナノインプリント / 樹脂薄膜 / 分子流 |
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| 研究成果の概要 |
100nm程度のナノパイプ内では大気圧で気体分子はパイプの壁に衝突しながら輸送される分子流となる。ナノパイプからなるフィルターは環境用のガス交換素子となる。これに必要な微細貫通孔付樹脂薄膜を作製する新規インプリントプロセスを開発した。水溶性ポリマーを犠牲層とするプロセス、低温熱インプリントプロセス、微細パターンのアスペクト比を増大できるインプリントとフォトリソグラフィハイブリッドプロセスを開発した。これにより直径0.5μm、厚さ1μmの自立アクリルフィルムを直径5mmにわたり作製した。
さらに自立樹脂膜作製技術を利用して機械的な伸縮によりピッチ可変なグレーテイングを用いた光学素子も作製した。
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| 自由記述の分野 |
微細加工を用いた素子作製
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| 研究成果の学術的意義や社会的意義 |
直径100nm程度のナノパイプからなるフィルターは気体分子のながれは大気圧下でも分子流となり部屋の圧力によらず高密度の気体を選択的に排出できる環境素子となる。このようなフィルターを汎用樹脂で作製するために必要なプロセスの開発を行なった。直径500nm、厚さ1μmの貫通孔付アクリルのフィルターを作製した。これにより分子流フィルター実現の基本プロセスを確立した。さらに機械的にピッチ可変なグレーテイングを有する光学素子も作製し、その動作を確認した。
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