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2020 年度 実績報告書

角度時間変換型オートコリメーション法による精密角度計測

研究課題

研究課題/領域番号 19K14857
研究機関東北大学

研究代表者

松隈 啓  東北大学, 工学研究科, 助教 (90728370)

研究期間 (年度) 2019-04-01 – 2021-03-31
キーワード半導体レーザー / レーザー分光 / 角度計測
研究実績の概要

本研究課題においては,時間―角度変換型での角度計測法の提案を行った.そのために重要な要素は,1.時間的に波長掃引が可能なレーザー,2.分光システム,3.角度計測部の3つである.
1.時間的に波長掃引が可能なレーザー:2019年度に波長掃引レーザーシステムを構築した.レーザー素子に入力する電流を変調することで,波長変換が可能なレーザーシステムとした.さらに2020年度には新たに垂直面発振レーザーでさらに幅広い波長掃引が可能なシステムの構築を可能にした.
2.分光システム:波長掃引レーザーシステムの波長を同定するためには,分光システムが必要となる.2019年度に,ファブリー・ペロー型共振器を分光システムとして構築した.開発した分光システムで波長掃引レーザーシステムの動作確認および波長同定を行った.
3.角度計測部:角度計測部には,従来光学式角度センサとして用いられているオートコリメーション法を適用した.オートコリメータを製作するために,理想的な条件下での検出感度をあらかじめ光学シミュレーションにより求め,0.1角度秒(1角度秒は3600分の1度)程度になるように設計を行った.製作したオートコリメータを用いてあらかじめ研究室で所有していたレーザーにより所望の0.1角度秒の分解能を持つことを確かめた.
以上の3つの要素を独立に構築することに成功した.一方で,2019年度末からの新型コロナウイルスの影響により,最終的な統合実験は未完のままであり,本システムの最終形態に向けて今後更なる検証を行う.

  • 研究成果

    (1件)

すべて 2021

すべて 雑誌論文 (1件) (うち査読あり 1件)

  • [雑誌論文] An autocollimator with a mid-infrared laser for angular measurement of rough surfaces2021

    • 著者名/発表者名
      Hiraku Matsukuma, Yun Asumi, Masashi Nagaoka, Yuki Shimizu, Wei Gao
    • 雑誌名

      Precision Engineering

      巻: 67 ページ: 89-99

    • DOI

      10.1016/j.precisioneng.2020.09.022

    • 査読あり

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公開日: 2021-12-27  

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