• 研究課題をさがす
  • 研究者をさがす
  • KAKENの使い方
  1. 課題ページに戻る

2021 年度 実績報告書

素子小型化を目指したナノ熱電性能サイズ・結晶方位依存性の解明

研究課題

研究課題/領域番号 19K15382
研究機関芝浦工業大学

研究代表者

張 暁賓  芝浦工業大学, SIT総合研究所, 准教授 (40647111)

研究期間 (年度) 2019-04-01 – 2022-03-31
キーワード透過型電子顕微鏡その場計測法 / 熱電性能 / ポイントコンタクト / 試料ホルダー開発 / 結晶方位
研究実績の概要

これまでに、電子状態に比べフォノン状態に大きな異方性がある材料や、フォノンの平均自由行程より小さいサイズの材料で高い熱電性能が得られることが指摘されている。しかしながら、電極間に熱電材料の薄膜やワイヤーを担持して熱電性能を測定する従来の方法は、熱リークや熱電材料と電極の接触状態などに課題があると言われている。本研究では、局所的な熱起電力を測定できる走査型熱電顕微鏡をヒントに、透過型電子顕微鏡その場計測法を用いて、熱電材料のポイントコンタクトを形成し、I-V計測からそのサイズや結晶方位による熱電性能の違いを明らかにする。熱やフォノンを利用したナノスイッチング素子の開発にもつながる。
本年度中にMEMS機構を利用した透過型電子顕微鏡その場計測試料ホルダーの開発に集中した。ホルダーの働き原理としては、集束イオンビーム顕微鏡(FIB)を利用してバルクのn 型(Bi,Sb)2Te3材料を100nm以下の薄い膜に加工し、リソグラフィで作製したヒーター付きシリコンチップに固定する。薄膜試料の一端はチップにパータンニングした電極に繋ぎ、も片端はマンガニン短針で接触しながら電気回路を作る。短針はピエゾに駆動され、試料への接触位置を三次元的に制御できる。ポイントコンタクトを形成できるよう、接触面積をなるべく小さくすることを望ましい。再びFIB技術を使って直径0.1mmのマンガニン細線を針状に加工した。針先端のサイズは数十nmがある。このシステムを利用して、試料が異なる温度差でのI-V関係を計測でき、サイズや結晶方位による熱電性能の違いを原子レベルで調べることが可能となる。熱電特性などが明らかになれば、熱やフォノンを利用したナノスイッチング素子の開発など新しい研究分野へ展開することを期待できる。

  • 研究成果

    (7件)

すべて 2022 2021

すべて 雑誌論文 (1件) (うち査読あり 1件) 学会発表 (6件) (うち国際学会 3件、 招待講演 1件)

  • [雑誌論文] Current effect on suspended graphene nanoribbon studied using in?situ transmission electron microscopy2022

    • 著者名/発表者名
      Liu Chunmeng、Zhang Jiaqi、Ganesh Ramaraj Sankar、Zhang Xiaobin、Muruganathan Manoharan、Mizuta Hiroshi、Oshima Yoshifumi
    • 雑誌名

      Applied Surface Science

      巻: 573 ページ: 151563~151563

    • DOI

      10.1016/j.apsusc.2021.151563

    • 査読あり
  • [学会発表] ポリテトラフルオロエチレン(PTFE)分子の高分解能TEM観察2022

    • 著者名/発表者名
      秋山 知史,張 暁賓,北川 仁美,島谷 俊一,江頭 厳,下条 雅幸
    • 学会等名
      日本顕微鏡学会 第78回学術講演会
  • [学会発表] 電子線照射を用いたクレーズ作製方法における電子線照射条件の検証2022

    • 著者名/発表者名
      横田大介,下条雅幸,Zhang Xiaobin
    • 学会等名
      表面技術協会 第 145 回講演大会
  • [学会発表] Position control of crazing in polyethylene using electron beams2021

    • 著者名/発表者名
      Daisuke Yokota, Xiaobin Zhang, Masayuki Shimojo
    • 学会等名
      Interfinish2020 20th world congress
    • 国際学会
  • [学会発表] Clean Direct Transfer and Electron Beam Nanofabrication of Graphene2021

    • 著者名/発表者名
      Takuya Ohe, Xinyu Wei, Tomoya Iida, Xiaobin Zhang, Yoshifumi Oshima, Masayuki Shimojo
    • 学会等名
      Interfinish2020 20th world congress
    • 国際学会
  • [学会発表] Nanoprocessing to Graphene through Electron Beam Irradiation2021

    • 著者名/発表者名
      Xiaobin Zhang, Tomoya Iida, Xinyu Wei, Takuya Ohe, Yoshifumi Oshima and Masayuki Shimojo
    • 学会等名
      ISPlasma2021/IC-PLANTS2021
    • 国際学会 / 招待講演
  • [学会発表] Current annealing of suspended graphene nanoribbon by in-situ TEM observation2021

    • 著者名/発表者名
      Chunmeng Liu, Jiaqi Zhang, Sankar Ganesh Ramaraj, Xiaobin Zhang, Muruganathan Manoharan, Hiroshi Mizuta and Yoshifumi Oshima
    • 学会等名
      日本顕微鏡学会 第77回学術講演会

URL: 

公開日: 2022-12-28  

サービス概要 検索マニュアル よくある質問 お知らせ 利用規程 科研費による研究の帰属

Powered by NII kakenhi