| 研究課題/領域番号 |
19K15405
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| 研究機関 | 地方独立行政法人大阪産業技術研究所 |
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研究代表者 |
近藤 裕佑 地方独立行政法人大阪産業技術研究所, 和泉センター, 主任研究員 (30470397)
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| 研究期間 (年度) |
2019-04-01 – 2023-03-31
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| キーワード | a-C:H / 光学薄膜 / PECVD |
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| 研究実績の概要 |
年度当初に、本研究で使用するプラズマアシストCVD製膜装置のパルス電源と真空排気系の冷却機構が、20年を超える使用により経年劣化により相次いで故障し、本研究を中断せざるを得ない状況となった。
冷却機構については、モーター等の劣化が激しく、過去にも故障が頻発していることから修理を断念し、同等の冷却能を持つ機種の購入と関連部品の交換を行った。パルス電源については、既にメーカー廃盤扱いとなっており、別メーカーの後継機種への換装と周辺部品の交換が必要であった。換装にあたって、装置メーカーによる大掛かりな改修（プラズマ点灯領域の確認、印加電圧の上限確認、制御系への影響確認）が必要となった。コロナ禍による装置の調達の遅れも響き、年明けまで上記改修対応に時間を要した。その後、故障前の製膜品質に復旧すべく、条件出しを進めている状況である。なお、昨年度までの研究内容については、学会発表を行った。
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| 現在までの達成度 (区分) |
現在までの達成度 (区分)
4: 遅れている
理由
年度当初に、本研究で使用するプラズマアシストCVD製膜装置のパルス電源と真空排気系の冷却機構が、20年を超える使用により経年劣化により相次いで故障し、本研究を中断せざるを得ない状況となったため。
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| 今後の研究の推進方策 |
パルス電源の変更のため、昨年度までに作製した製膜プログラムが使用出来なくなった。早期に新しいプログラムを作製し直す。また、製膜条件についても、ずれが見られるため、再測定を進め、早急に研究体制を立て直す。
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| 次年度使用額が生じた理由 |
年度当初に、本研究で使用するプラズマアシストCVD製膜装置のパルス電源と真空排気系の冷却機構が、20年を超える使用により経年劣化により相次いで故障し、本研究を中断せざるを得ない状況となった。この修理費用として一部費用を充当したが、消耗品等の支出が無かったため計画予算に余剰が生じた。次年度、早期に研究体制を立て直し、研究遂行するために当初予定していた予算を使用する。
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