サブナノメートルオーダの表面形状精度を有する高精度非球面レンズは,加工コストの高さから,コスト要求が厳しい産業用カメラの分野への導入が進んでいない.本研究では,高精度非球面レンズの加工コスト上昇の要因である“スモールツール研磨加工における除去能率の変動”の抑制を目的に,工具表面へのレンズ切りくずの付着が除去能率に及ぼす影響,および工具表面上における加工液の流れがレンズ切りくずの付着に及ぼす影響を検討した.そして,レンズ切りくずの付着を抑制して除去能率の安定性向上を実現する新たな研磨工具ユニットの開発を行った.
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