研究課題
挑戦的研究(萌芽)
プラズマ中での電子－分子衝突で誘起される電子励起を引き金として放出される高活性解離化学種は、半導体微細加工に広く利用されている。本研究では、解離フラグメントの状態分析法の開発と生成機構解明に取り組んだ。中性ラジカルに対する運動量イメージングの実現を目指すとともに、非弾性散乱電子と解離イオンの同時計測実験による解離性電子衝撃イオン化過程の研究や電子励起の理論研究を行った。対称分子からの解離イオン放出でありながら、その放出方向が非対称となる特異な現象を見出すなどの成果を得ている。
原子・分子物理
本研究では、電子－分子衝突で放出される高活性ラジカルの分析技術の開発を目指すとともに、中性解離種の計測に先行した解離イオンと散乱電子の同時計測実験により、工業的に重要な六フッ化硫黄などの分子に対する解離性イオン化の詳細な調査を行った。また、ハロゲン含有分子を対象とした電子励起断面積の理論研究からは、四塩化炭素の価電子励起を引き金とした上層大気中でのCl生成において非対称伸縮振動が大きな影響を持つことを明らかにするなど、大気環境への影響理解にも資する知見が得られている。
