研究課題
挑戦的研究(萌芽)
本研究では櫛形電極を用いて粒径の異なる3種類の炭化タングステン微粒子を対象とし電極表面上の微粒子の除去を行った。印加電圧の振幅・周波数や微粒子の粒径を変化させ実験を行ったところ振幅の増加とともに除去率の増加が確認された。また各微粒子の除去率に関して周波数依存性を調べたところ、周波数の増加とともに除去率の減少が確認された。これは高周波数において線電極からの反発を繰り返すことにより線電極間で振動運動し、電極間にトラップされたためと考えられる。
マイクロプラズマ応用
微粒子に関する問題は，ウエハ表面のコンタミネーションの除去や電気集じん装置，太陽電池表面上に堆積した砂の除去などといった研究がなされている．これらの微粒子除去手法としてマイクロプラズマ電極を用いることで、微粒子除去とその制御を可能とすることができた。その際、粒径が大きくなるにつれ除去率が減少することが確認された。微粒子粒径が大きくなるにつれ微粒子が帯電することにより発生するクーロン力よりも重力が上回るため、粒径が大きくなることで炭化タングステン微粒子が除去されなくなったと考えられる。
