研究課題
挑戦的研究(萌芽)
本研究では,近接場光を用いた微細加工をこれまでの2次元から3次元加工に拡張するナノ3次元構造形成法のための基盤技術を確立することを目的とした.ナノ3次元構造形成法実現のキー技術となる,ナノ厚さ液膜積層について,ナノ厚さ液体膜特有の基板面との分子間相互作用に着目した独自の方法を提案し原理実証に成功した.
ナノ計測工学
ナノスケールの3次元構造は,様々な分野で新領域開拓をもたらすと期待されているが,ナノスケールの部品組み立ては困難なため構造形成法は確立されていない.本研究の成果は,その実現の基盤技術となることが期待できる.