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2020 年度 実績報告書

応力波キャンセリングによるガラスの精密フェムト秒レーザ加工技術の開発

研究課題

研究課題/領域番号 19K23477
研究機関東京大学

研究代表者

伊藤 佑介  東京大学, 大学院工学系研究科(工学部), 助教 (90843227)

研究期間 (年度) 2019-08-30 – 2021-03-31
キーワードフェムト秒レーザ / レーザ加工 / ガラス / 応力波
研究実績の概要

電子機器や光学機器の更なる高性能化のために,ガラス材料に微細精密加工を施す技術が求められている.ガラスの微細加工のための有効なツールとしてフェムト秒レーザが注目されているものの,加工後に多量のクラックが発生し,精密加工が阻害される.従来,熱的な処理によりクラックの除去が試みられているが,熱変性やプロセスの煩雑さが課題として存在している.そこで本研究では,クラック形成の抜本的要因となる応力波伝搬を制御するための技術基盤を構築することを目指した.
レーザ照射時,応力波は材料内部を高速で伝搬する.この応力波を制御するためには,応力波の作る応力分布を正確に知ることが必要となる.従来,シミュレーションによる応力分布の推測が試みられてきたが,正確な情報を得るためにはシミュレーションだけでは不十分である.そこで,本研究では,高速で変動する圧力分布の実測とシミュレーションを複合することにより,応力分布の実験的推測を試みた.
圧力分布は材料内部の密度変化として観測されることから,マッハツェンダー干渉計を構築した.さらに,マッハツェンダー干渉計と時間分解(Pump-Probe)撮影法を組み合わせることで,超高速で変化する圧力分布を実測した.この実験結果をシミュレーションに反映させることで,シミュレーションのキャリブレーションが実現し,正確な応力分布の推定が実現した.
その結果,レーザ照射後のナノ秒未満の時間スケールで,材料の実用強度を上回る引張応力が分布することが明らかとなった.本結果から,加工時に伝搬する応力波の引張成分の出現する時間スケールとその大きさが定量的に示された.そして,明らかとなった応力の時間プロファイルを積極的に活用することによる精密加工技術開発の指針が示された.

  • 研究成果

    (7件)

すべて 2020

すべて 雑誌論文 (4件) (うち査読あり 3件、 オープンアクセス 1件) 学会発表 (3件) (うち国際学会 1件)

  • [雑誌論文] Ultrafast internal modification of glass by selective absorption of a continuous-wave laser into excited electrons2020

    • 著者名/発表者名
      Miyamoto Naoyuki、Ito Yusuke、Wei Chaoran、Yoshizaki Reina、Shibata Akihiro、Nagasawa Ikuo、Nagato Keisuke、Sugita Naohiko
    • 雑誌名

      Optics Letters

      巻: 45 ページ: 3171~3174

    • DOI

      10.1364/OL.394952

    • 査読あり
  • [雑誌論文] Simulation of ultrashort pulse laser drilling of glass considering heat accumulation2020

    • 著者名/発表者名
      Wei Chaoran、Ito Yusuke、Shinomoto Rin、Nagato Keisuke、Sugita Naohiko
    • 雑誌名

      Optics Express

      巻: 28 ページ: 15240~15249

    • DOI

      10.1364/OE.390289

    • 査読あり / オープンアクセス
  • [雑誌論文] High-speed observation of pulse energy and pulse width dependences of damage generation in SiC during ultrashort pulse laser drilling2020

    • 著者名/発表者名
      Hattori Junya、Ito Yusuke、Jo Hiroshi、Nagato Keisuke、Sugita Naohiko
    • 雑誌名

      Applied Physics A

      巻: 126 ページ: -

    • DOI

      10.1007/s00339-020-04018-y

    • 査読あり
  • [雑誌論文] ガラスのフェムト秒レーザー穴あけ加工におけるダメージ形成メカニズム2020

    • 著者名/発表者名
      伊藤佑介, 杉田直彦
    • 雑誌名

      光アライアンス

      巻: 31 ページ: 5~8

  • [学会発表] ガラスのフェムト秒レーザ加工における応力波のクラック形成に与える影響2020

    • 著者名/発表者名
      大囿勇也, 杉田直彦, 服部隼也, 伊藤佑介
    • 学会等名
      第27回精密工学会学生会員卒業研究発表講演会
  • [学会発表] ガラスのフェムト秒レーザ穴あけ加工におけるダメージ形成メカニズムの調査2020

    • 著者名/発表者名
      伊藤佑介, 長藤圭介, 杉田直彦
    • 学会等名
      第67回応用物理学会春季学術講演会
  • [学会発表] Investigation of shock waves during ultrashort pulse laser drilling of SiC by combining pump-probe imaging with a high-speed camera2020

    • 著者名/発表者名
      Junya Hattori, Yusuke Ito, Keisuke Nagato, and Naohiko Sugita
    • 学会等名
      SPIE Laser Damage
    • 国際学会

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公開日: 2021-12-27  

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