• 研究課題をさがす
  • 研究者をさがす
  • KAKENの使い方
  1. 課題ページに戻る

2009 年度 実績報告書

シリコンの酸化によるナノドットアレイの形成とその論理機能選択デバイス応用

研究課題

研究課題/領域番号 20035001
研究機関北海道大学

研究代表者

高橋 庸夫  北海道大学, 大学院・情報科学研究科, 教授 (90374610)

研究分担者 有田 正志  北海道大学, 大学院・情報科学研究科, 准教授 (20222755)
キーワード少数電子素子 / 量子ドット / 電子デバイス・機器 / 先端機能デバイス / 省エネルギー / 揺らぎ許容デバイス / フレキシブル論理ゲート / 単電子転送
研究概要

将来の高度な情報処理には、高密度集積化されたシリコン集積回路が不可欠であるが、同時に省電力化も図られなければならない。その際、微細化に伴うサイズ揺らぎによる特性の揺らぎが大きな問題となる。これを解決するため、多数のSiナノドットを用いて揺らぎの効果を緩和し、多数のドットを用いたことによる面積拡大をドット間の単電子伝導を利用した高機能化で、省エネ化と併せて補う方式を検討した。加えて、ナノドットを連結させることにより、電子間の相互作用を強めることが可能な構造作成法を実証し、単電子転送という、基本的な特性を示した。
1. 多入力・多出力Siナノドットアレイデバイスの作製と評価
ナノドットアレイデバイスの特徴は、多数の入力ゲートと多数の出力端子を有し、高い機能を1個のデバイスで実現できることである。複雑な機能を実現できる上に、その機能をゲート電圧で可変であるという、他の素子にはできない機能を持つが、逆に機能の選択性が高すぎて、機能を推定するのが難しくなるという問題がある。これを解決するために、本年度は、スイッチング機能をマッピングする手法を立ち上げ、実際に、もっとも機能が出にくい単純なドットアレイを用いても半加算器とその他の論理機能を切り替えて使えることを容易に判定できることを示した。
2. 連結島単電子トランジスタ
将来の究極の省エネデバイスを念頭に、単電子転送や量子コンピューティングが可能となる連結島単電子デバイス実現のため、効率的な連結島の作成法を検討した。Si細線の取付け部の構造を工夫することで、自動的に島が連結した構造を実現できることを示し、時際に3連結島を持つ単電子トランジスタを実現し、これを用いて単電子転送デバイスである単電子ターンスタイルの動作を示すことに成功した。

  • 研究成果

    (46件)

すべて 2010 2009

すべて 雑誌論文 (7件) (うち査読あり 7件) 学会発表 (37件) 図書 (2件)

  • [雑誌論文] I-V hysteresis of Pr_<0.7>Ca_<0.3>MnO_3 during TEM observation2010

    • 著者名/発表者名
      藤井孝史
    • 雑誌名

      IOP Conference Series : Materials Science and Engineering 8

      ページ: 012033-1-4

    • 査読あり
  • [雑誌論文] The influence of annealing temperature on ReRAM characteri stics of metal/NiO/metal structure2010

    • 著者名/発表者名
      近藤洋史
    • 雑誌名

      IOP Conference Series : Materials Science and Engineering 8

      ページ: 012034-1-4

    • 査読あり
  • [雑誌論文] Effect of electrode and interface oxide on the property of ReRAM composed of Pr_<0.7>Ca_<0.3>MnO_32010

    • 著者名/発表者名
      梶宏道
    • 雑誌名

      IOP Conference Series : Materials Science and Engineering 8

      ページ: 012032-1-4

    • 査読あり
  • [雑誌論文] Silicon nanodot-array device with multiple gates2009

    • 著者名/発表者名
      曹民圭
    • 雑誌名

      Materials Science in Semiconductor Processing 11

      ページ: 175-178

    • 査読あり
  • [雑誌論文] Full adder operation based on Si nanodot array device with multiple inputs and outputs2009

    • 著者名/発表者名
      開澤拓弥
    • 雑誌名

      International Journal of Nanotechnology and Molecular Computation 1

      ページ: 58-69

    • 査読あり
  • [雑誌論文] Single-Electron Device with a Si Nanodot Array and Multiple Input Gates2009

    • 著者名/発表者名
      開澤拓弥
    • 雑誌名

      IEEE Transactions Nanotechnology 8

      ページ: 535-541

    • 査読あり
  • [雑誌論文] Fabrication of double-dot single-electron transistor in silicon nanowire2009

    • 著者名/発表者名
      曹民圭
    • 雑誌名

      Thin Solid Films 518

      ページ: S186-S189

    • 査読あり
  • [学会発表] Si単電子トランジスタにおけるPADOXの形成メカニズムの解析2010

    • 著者名/発表者名
      加藤勇樹
    • 学会等名
      春季応用物理学会
    • 発表場所
      平塚
    • 年月日
      20100317-20100320
  • [学会発表] Mo酸化物による抵抗変化型メモリの電気的特性評価2010

    • 著者名/発表者名
      梶宏道
    • 学会等名
      春季応用物理学会
    • 発表場所
      平塚
    • 年月日
      20100317-20100320
  • [学会発表] Fabrication method for triple-coupled dots based on pattern-dependent oxidation2010

    • 著者名/発表者名
      高橋庸夫
    • 学会等名
      Fifth International Workshop on New Group IV Semiconductor Nanoelectronics
    • 発表場所
      仙台
    • 年月日
      20100129-20100130
  • [学会発表] シリコンのトリプルドット単電子トランジスタによるターンスタイル動作2010

    • 著者名/発表者名
      曹民圭
    • 学会等名
      特定領域研究「ポストスケール」第四回成果報告会
    • 発表場所
      東京
    • 年月日
      20100119-20100120
  • [学会発表] Resistance switching of Pr_<0.7>Ca_<0.3>MnO_3 during TEM observation2010

    • 著者名/発表者名
      藤井孝史
    • 学会等名
      The 3rd International Symposium on Global COE Program of Center for Next-Generation Information Technology Based on Knowledge Discovery and Knowledge Federation(GCOE-NGIT 2010)
    • 発表場所
      札幌
    • 年月日
      20100118-20100120
  • [学会発表] 熱酸化により作製したCoO薄膜のReRAM特性2010

    • 著者名/発表者名
      川西敬仁
    • 学会等名
      応用物理学会日本光学会北海道支部合同学術講演会
    • 発表場所
      札幌
    • 年月日
      20100108-20100109
  • [学会発表] Si単電子トランジスタにおけるゲート電圧によるキャパシタンスの変化2010

    • 著者名/発表者名
      加藤勇樹
    • 学会等名
      応用物理学会日本光学会北海道支部合同学術講演会
    • 発表場所
      札幌
    • 年月日
      20100108-20100109
  • [学会発表] ナノトランジスタ赤外線センサ2010

    • 著者名/発表者名
      西口克彦
    • 学会等名
      応用物理学会シリコンテクノロジー研究集会「シリコンプラットホームテクノロジ」
    • 発表場所
      東京
    • 年月日
      2010-03-24
  • [学会発表] abrication of triple-dot single-electron transistor and its single-electron-transfer operation2009

    • 著者名/発表者名
      曹民圭
    • 学会等名
      International Symposium on Advanced Nanodevices and Nanotechnology(ISANN)
    • 発表場所
      Kaanapali, Hawaii、USA
    • 年月日
      20091129-20091204
  • [学会発表] I-V measurement of Pr_<0.7>Ca_<0.3>MnO_3 during TEM observation2009

    • 著者名/発表者名
      藤井孝史
    • 学会等名
      2009 Int.Conf.Solid State Devices and Materials(SSDM-09)
    • 発表場所
      仙台
    • 年月日
      20091007-20091009
  • [学会発表] 透過型電子顕微鏡内におけるPr_<0.7c>a_<0.3>MnO_3のReRAM特性2009

    • 著者名/発表者名
      藤井孝史
    • 学会等名
      北大GCOE若手研究者支援のための産学協同GCOEシンポジウム2009
    • 発表場所
      札幌
    • 年月日
      20090930-20091001
  • [学会発表] Logic switching characteristics of multiple-gate nanodot array device2009

    • 著者名/発表者名
      曹民圭
    • 学会等名
      1st International Workshop on Si based nano-electronics and-photonics(SiNEP-09)
    • 発表場所
      Vigo, Spain
    • 年月日
      20090920-20090923
  • [学会発表] 磁場印加機構を持ったローレンツ観察用TEMホルダーの開発と磁性薄膜への応用2009

    • 著者名/発表者名
      徳田良平
    • 学会等名
      第33回日本磁気学会学術講演会
    • 発表場所
      長崎
    • 年月日
      20090912-20090915
  • [学会発表] 電磁石搭載型ローレンツ観察用TEMホルダーの試作2009

    • 著者名/発表者名
      有田正志
    • 学会等名
      日本金属学会-2009年度秋期講演大会
    • 発表場所
      京都
    • 年月日
      20090912-20090915
  • [学会発表] マルチゲートナノドットアレイデバイスの論理機能特性2009

    • 著者名/発表者名
      曹民圭
    • 学会等名
      秋季応用物理学会
    • 発表場所
      富山
    • 年月日
      20090908-20090911
  • [学会発表] NiO微小領域の透過型電子顕微鏡内伝導計測2009

    • 著者名/発表者名
      藤井孝史
    • 学会等名
      秋季応用物理学会
    • 発表場所
      富山
    • 年月日
      20090908-20090911
  • [学会発表] Cr, Moを上部電極としたPr0.7Ca0.3MnO3によるReRAM特性2009

    • 著者名/発表者名
      梶宏道
    • 学会等名
      秋季応用物理学会
    • 発表場所
      富山
    • 年月日
      20090908-20090911
  • [学会発表] ReRAM応用に向けたNiO薄膜の熱酸化温度とフォーミング電圧の関係2009

    • 著者名/発表者名
      近藤洋史
    • 学会等名
      秋季応用物理学会
    • 発表場所
      富山
    • 年月日
      20090908-20090911
  • [学会発表] シリコン量子ドットによる論理演算素子2009

    • 著者名/発表者名
      高橋庸夫
    • 学会等名
      フロンティアプロセス2009
    • 発表場所
      筑波
    • 年月日
      20090828-20090829
  • [学会発表] マルチゲートナノドットアレイデバイスの論理機能特性2009

    • 著者名/発表者名
      曹民圭
    • 学会等名
      特定領域研究「ポストスケール」第六回全体会議
    • 発表場所
      名古屋
    • 年月日
      20090806-20090807
  • [学会発表] I-V hysteresis of Pr_<0.7>Ca_<0.3>MnO_3 during TEM observation2009

    • 著者名/発表者名
      藤井孝史
    • 学会等名
      International Workshop on Photons and Spins in Nanostructures(IWPSN 2009)
    • 発表場所
      札幌
    • 年月日
      20090727-20090728
  • [学会発表] Double-dot single-electron transistor fabricated in silicon nano wire on SOI substrate2009

    • 著者名/発表者名
      曹民圭
    • 学会等名
      International Workshop on Photons and Spins in Nanostructures(IWPSN 2009)
    • 発表場所
      札幌
    • 年月日
      20090727-20090728
  • [学会発表] Evaluation of a custom-made TEM holder generating in-plane magnetic field and its application on thin films showing magnetoresistance2009

    • 著者名/発表者名
      徳田良平
    • 学会等名
      International Workshop on Photons and Spins in Nanostructures(IWPSN 2009)
    • 発表場所
      札幌
    • 年月日
      20090727-20090728
  • [学会発表] Characterization of MgO/Fe/MgO granular films grown on thermally oxidized Si substrate2009

    • 著者名/発表者名
      工藤昌輝
    • 学会等名
      International Workshop on Photons and Spins in Nanostructures(IWPSN 2009)
    • 発表場所
      札幌
    • 年月日
      20090727-20090728
  • [学会発表] Novel-Functional Single-Electron Devices Using Silicon Nanodot Array2009

    • 著者名/発表者名
      高橋庸夫
    • 学会等名
      2009 Asia-Pacific Workshop on Fundamentals and Applications of Advanced Semiconductor Devices(AWAD 2009)
    • 発表場所
      Busan, Korea
    • 年月日
      20090624-20090626
  • [学会発表] Fabrication of double-dot single-electron transistor in silicon nanowire2009

    • 著者名/発表者名
      曹民圭
    • 学会等名
      2009 Asia-Pacific Workshop on Fundamentals and Applications of Advanced Semiconductor Devices(AWAD 2009)
    • 発表場所
      Busan, Korea
    • 年月日
      20090624-20090626
  • [学会発表] Fabrication of Coupled-dot single-electron transistor in silicon nanowire2009

    • 著者名/発表者名
      曹民圭
    • 学会等名
      2009 Silicon Nanoelectronics Workshop(SNW-09)
    • 発表場所
      京都
    • 年月日
      20090613-20090614
  • [学会発表] I-V hysteresis of Pr_<0.7>Ca_<0.3>MnO_3 in TEM observation2009

    • 著者名/発表者名
      藤井孝史
    • 学会等名
      EMRS 2009 Spring Meeting(EMRS-09)
    • 発表場所
      Strasbourg, France
    • 年月日
      20090608-20090612
  • [学会発表] Effect of tungsten oxide on ReRAM property of W/Pr_<0.7>Ca_<0.3> MnO_3/Pt structure2009

    • 著者名/発表者名
      梶宏道
    • 学会等名
      EMRS 2009 Spring Meeting(EMRS-09)
    • 発表場所
      Strasbourg, France
    • 年月日
      20090608-20090612
  • [学会発表] The influence of annealing temperature on Re-RAM character istics of metal/NiO/metal structure2009

    • 著者名/発表者名
      近藤洋史
    • 学会等名
      EMRS 2009 Spring Meeting(EMRS-09)
    • 発表場所
      Strasbourg, France
    • 年月日
      20090608-20090612
  • [学会発表] 透過型電子顕微鏡を用いたPr_<0.7c>a_<0.3>MnO_3の伝導特性2009

    • 著者名/発表者名
      藤井孝史
    • 学会等名
      日本顕微鏡学会第65回学術講演会
    • 発表場所
      仙台
    • 年月日
      20090526-20090529
  • [学会発表] D磁場印加機構を持ったローレンツ観察用TEMホルダーの試作2009

    • 著者名/発表者名
      徳田良平
    • 学会等名
      日本顕微鏡学会第65回学術講演会
    • 発表場所
      仙台
    • 年月日
      20090526-20090529
  • [学会発表] Double-dot single-electron transistor fabricated in silicon nanowire2009

    • 著者名/発表者名
      曹民圭
    • 学会等名
      6th International Conference on Silicon Epitaxy and Heterostructures(ICSI-06)
    • 発表場所
      Los Angeles
    • 年月日
      20090517-20090522
  • [学会発表] 量子ドットデバイスの最新動向2009

    • 著者名/発表者名
      高橋庸夫
    • 学会等名
      第9回インテリジェントナノプロセス研究会
    • 発表場所
      仙台
    • 年月日
      2009-12-18
  • [学会発表] TEM内電気伝導計測のための特殊ホルダー開発とその応用2009

    • 著者名/発表者名
      有田正志
    • 学会等名
      日本顕微鏡学会北海道支部学術講演会
    • 発表場所
      札幌
    • 年月日
      2009-12-12
  • [学会発表] TEM内同時観察による抵抗変化メモリの動作機構の解明--透過電子顕微鏡(TEM)内のその場観察技術で抵抗変化を捉える-2009

    • 著者名/発表者名
      高橋庸夫
    • 学会等名
      北海道大学工学系イノベーションフォーラム2009
    • 発表場所
      東京
    • 年月日
      2009-09-18
  • [学会発表] シリコン熱酸化膜上に作成したMgO/Feナノドット/MgO構造薄膜の電気特性2009

    • 著者名/発表者名
      工藤昌輝
    • 学会等名
      日本金属学会・日本鉄鋼協会両北海道支部合同夏季サマーセッション
    • 発表場所
      室蘭
    • 年月日
      2009-07-24
  • [図書] Device Applications of Silicon Nanocrystals and Nanostructures2009

    • 著者名/発表者名
      高橋庸夫
    • 総ページ数
      125-172
    • 出版者
      Springer
  • [図書] 自己組織化ハンドブック2009

    • 著者名/発表者名
      高橋庸夫
    • 総ページ数
      717-720
    • 出版者
      エヌ・ティー・エス

URL: 

公開日: 2011-06-16   更新日: 2016-04-21  

サービス概要 検索マニュアル よくある質問 お知らせ 利用規程 科研費による研究の帰属

Powered by NII kakenhi