研究課題
基盤研究(S)
本研究課題では、"選択Vapor-liquid-solid(VLS)結晶成長法"というユニークな手法を用いて神経細胞記録・刺激・治療用生体内埋込みマイクロプローブ・チューブアレイチップを実現を目指した。本研究期間では、代表的な実績として特に1) 記録・刺激用の低侵襲マイクロプローブと薬剤投与用チューブ混在アレイ、2) 3次元空間用として高さの異なるプローブ構造、3) デバイス高機能化を可能とするCMOSエレクトロニクス集積化プロセスを実現した。これらの研究成果は本研究課題に関する重要な知見であると共に、提案するデバイスの脳・神経科学と先端医療分野での今後の貢献を示唆するものであった。
すべて 2012 2011 2010 2009 2008 その他
すべて 雑誌論文 (15件) (うち査読あり 15件) 学会発表 (13件) 図書 (2件) 備考 (1件) 産業財産権 (2件)
Jpn. J. Appl. Phys
巻: Vol.51 ページ: 11PA04
DOI 10.1143/JJAP.51.11PA04
Sensors and Actuators A
巻: No.187 ページ: 79-83
DOI 10.1016/j.sna.2012.08.025
Nanotechnology
巻: Vol.23, No.41 ページ: 415301-7
DOI 10.1088/0957-4484/23/41/415301
IEEE Trans. Comp., Pack. & Manufac. Tech.
巻: Vol.2, No. 9 ページ: 1501-1509
DOI 10.1109/TCPMT.2012.2207956
IEEE Trans. Electrical & Electronic Eng.
巻: Vol.7, Issue 3 ページ: 337-341
DOI 10.1002/tee.21737
Solid-State Electron.
巻: Vol.67 ページ: 100-104
DOI 10.1016/j.sse.2011.08.002
Microelectron. J.
巻: Vol. 42 ページ: 1066-1073
DOI 10.1016/j.mejo.2011.06.009
IEEE Electron DeviceLett.
巻: Vol. 32, No.5 ページ: 683-685
DOI 10.1109/LED.2011.2120590
J. Micromech. & Microeng.
巻: Vol. 21, No. 3 ページ: 035007(7)
DOI 10.1088/0960-1317/21/3/035007
Biosensors & Bioelectron.
巻: Vol.26,No.5 ページ: 2368-2375
DOI 10.1016/j.bios.2010.10.014
巻: Vol.21, No.12 ページ: 125302(5)
DOI 10.1088/0957-4484/21/12/125302
巻: Vol.25, No.7 ページ: 1809-1815
DOI 10.1016/j.bios.2009.12.037
Biomedical Microdevices
巻: Vol. 12, No. 1 ページ: 41-48
DOI 10.1007/s10544-009-9356-y
Appl. Phys. Lett.
巻: Vol.95, No.3 ページ: 033502(3)
DOI 10.1063/1.3178556
巻: Vol.11, No.3 ページ: 539-545
DOI 10.1007/s10544-008-9259-3
http://int.ee.tut.ac.jp/icg/
