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2009 年度 実績報告書

トップダウンとボトムアップ融合による超高密度ナノホール配列形成と磁気記録媒体応用

研究課題

研究課題/領域番号 20241027
研究機関関西大学

研究代表者

新宮原 正三  関西大学, システム理工学部, 教授 (10231367)

研究分担者 田中 秀吉  (独)情報通信研究機構, 神戸研究所, 主任研究員 (40284608)
キーワード垂直磁気記録 / 電解めっき / 陽極酸化アルミナ / FePt / ナノホール / 合金めっき / 保磁力
研究概要

今年度は主に以下の2項目に注力して研究を行った。
1.シリコン単結晶基板上へ形成した陽極酸化アルミナ・ナノホール配列をテンプレートに用いての、ナノホール内部へのコバルトの電解めっき埋め込みの検討
2.陽極酸化アルミナ・ナノホール内部に形成した磁性体コンポジットナノワイヤの形成及び室温での磁気抵抗特性の評価
まず1.について、ナノホール底部のアモルファス・アルミナ膜の除去を行い、基板からの磁性ナノロッドの電解メッキ成長を行った。磁気異方性の強いFe及びコバルトのC軸配向成長を試みるため、直流パルスめっきを適用し、オン時間とオフ時間を変化させて最も埋め込みに適したパルス条件を探索した。その結果、直径20nm、深さ1μmのナノホールに均一にCo及びFePtを埋め込む条件を見出すことに成功した。しかしC軸配向性はまだ不十分であり、さらにめっきパルス周波数を変化させた検討が必要と推測される。ナノインプリント法をレジストマスクパターンに適用して、ナノホール配列のシングルドメイン化及びさらなる微細化を検討した。
2.については、ニッケルが不連続に埋め込まれたNi-アルミナ・ナノコンポジット構造にて、室温で著しい磁気抵抗スイッチング現象を見出した。磁気抵抗比の最大値は10000%を超える値であるが、試料ごとによる磁気抵抗値のばらつきが非常に大きかった。再現性及びそのメカニズム解明に関して、さらに検討を続けている。

  • 研究成果

    (8件)

すべて 2010 2009

すべて 雑誌論文 (3件) (うち査読あり 3件) 学会発表 (5件)

  • [雑誌論文] Reduction of pitch of nanohole array by self-organizing anodic oxidation after nanoimprinting2010

    • 著者名/発表者名
      S.Shingubara, S.Maruo, T.Yamashita, M.Nakao, T.Shimizu
    • 雑誌名

      Microelectronic Engineering 87

      ページ: 1451-1464

    • 査読あり
  • [雑誌論文] Strain imaging of a perpendicular recording head in a Hard Disk Drive2010

    • 著者名/発表者名
      K.Takata, N.Kurata, S.Tamura, S.Shingubara, S.Nakahara, N.Tagawa, Y.Arai
    • 雑誌名

      J.of Magnetism and Magnetic Materials 322-6

      ページ: 638-642

    • 査読あり
  • [雑誌論文] Filling of FePt in AAO Nanohole Array by DC Pulsed Electrodeposition2009

    • 著者名/発表者名
      H.Mori, T.Korenaga, N.Hosomi, T.Terui, S.Shingubara
    • 雑誌名

      ECS Transactions 16-45

      ページ: 65-71

    • 査読あり
  • [学会発表] Imaging, Structuring and Functionalization on Organic Molecules in Nano-meter Scale2010

    • 著者名/発表者名
      S.Tanaka
    • 学会等名
      International Workshop on Organic Electronics and Spintronics
    • 発表場所
      名古屋市 名古屋国際会議場
    • 年月日
      2010-03-09
  • [学会発表] 陽極酸化アルミナを用いたSi基板上の磁性体ナノワイヤの形成2009

    • 著者名/発表者名
      青木和茂, 前原誠, 坂田智裕, 新宮原正三
    • 学会等名
      表面科学会講演会
    • 発表場所
      東京都、タワーホール船堀
    • 年月日
      2009-10-28
  • [学会発表] Reduction of the Pitch of the Nano-Hole Array by Self-Organizing Anodic Oxidation After Nano-Imprinting2009

    • 著者名/発表者名
      S.Maruo, T.Yamashita, M.Nakao, T.Shimizu, S.Shingubara
    • 学会等名
      MNE 2009
    • 発表場所
      ベルギー、ゲント市 Congress Center
    • 年月日
      2009-09-29
  • [学会発表] Ni-アルミナ・ナノコンポジットにおける巨大磁気抵抗スイッチング現象2009

    • 著者名/発表者名
      塩谷裕一, 山西卓, 村上勝久, 清水智弘, 新宮原正三
    • 学会等名
      日本磁気学会学術講演会
    • 発表場所
      長崎市、長崎大学
    • 年月日
      2009-09-12
  • [学会発表] ENORMOUS RESISTANCE SWITCHING PHENOMENA OBSERVED IN NICKEL- ALUMINIUM- OXIDE NANOCOMPOSITE2009

    • 著者名/発表者名
      山西卓, 塩谷裕一, 村上勝久, 清水智弘, 新宮原正三
    • 学会等名
      IEEE Intermag 2009 conference
    • 発表場所
      米国サクラメント市 Convention Center
    • 年月日
      2009-05-08

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公開日: 2011-06-16   更新日: 2016-04-21  

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